Sic epitaksialni modul

Epitaksialni modul SIC SIC, izdelan iz vrhunske stopnje, prevlečen s SiC, je del epitaksialne opreme, ki je razvita tako, da vzdrži najtežje elemente Epitaxy procesov silicijevega karbida (SIC). Ta modul, namenjen visoki temperaturi v uporabi kemičnega nalaganja hlapov (CVD), je pomemben sestavni del prikaza stabilnosti in podpore rezine med epitaksialno rastjo visokokakovostne SIC. Semicorex SIC modul je učinkovit osnovni material za zanesljivo in ponovljivo proizvodnjo epitaksialnega materiala, ki je skladen s kakovostnimi specifikacijami SIC.

Polmični modul SIC je grafitni substrat, prekrit z gosto in enakomerno plastjo plasti silicijevega karbida in je odporen na kontaminacijo z delci in korozijo tudi pri najtežjih procesnih kemikarijah. SiC prevleka prepoveduje kontaminacijo in erozijo osnovnega grafita ter zagotavlja znatno mehansko podporo in zaščito do 1600 ° C. Modul SIC združuje trdnost in obdelovalnost grafita s celotno obrabo, korozijo in kemijsko odporne lastnosti silicijevega karbida, zaradi česar je najbolj primeren modul v smislu trajnosti v ostri epitaksialni atmosferi.

Modul je zasnovan tako, da zagotavlja enoten toplotni profil, hkrati pa zmanjšuje dimenzijske spremembe v celotnem postopku toplotnega kolesarjenja. Ta toplotna enakomernost in stabilnost sta bistveni za ohranjanje ravnine rezin in epitaksije. Če rezina vzdržuje stabilen položaj z visoko toplotno prevodnostjo, bodo toplotni pogoji čez rezino med obdelavo enakomerni, kar pozitivno vpliva na donos, kakovost kristalov in čas izpada, povezane z okvaro ali kontaminacijo.

Epitaksialni modul SIC je združljiv z več epitaksialnimi reaktorji, vključno z vročo steno in hladno steno, in ima možnost, da se prilagodi obliko in dimenzijam, da se prilagodi posebnim postavitvam reaktorja in potrebe strank. Epitaksialni modul SIC je dobro primeren za, vendar ne omejen na 4-palčne, 6-palčne in nastajajoče 8-palčne 8-palčne aplikacije Epitaxy. Zaradi visoke čistosti in optimizirane geometrije epitaksialnega modula SIC se fizične motnje zmanjšajo v vplivu na dinamiko pretoka plina in toplotne gradiente, ki podpirajo bolj nadzorovano rast epitaksialne plasti.

SIC epitaksialni moduli Semicorex predstavljajo najvišje kakovosti nadzorovanega dela v ekscentričnem sklopu. Poleg visokih protokolov za nadzor kakovosti Semicorex uporablja tudi najnovejše metode prevleke za uporabo enotnih, gostih in nizkih filmskih filmov. Semicorex ima dolgo zgodovino visokozmogljivih keramičnih premazov in grafitnih obdelovanj, ki prepoznavajo prednosti, ki zagotavljajo najboljšo možno življenjsko dobo, doslednost in stabilnost procesov od serije do serije.

Na hitro razvijajočem se polju SIC napajalnih naprav, kjer kakovost materiala neposredno vpliva na delovanje naprave, epitaksialni modul ni samo potrošen-je kritični omogočevalec. Epitaksialni modul, prevlečen s SIC iz Semicorex, ponuja zanesljivo, zanesljivo rešitev za stranke, ki želijo pritisniti na meje učinkovitosti, donosa in stroškovne učinkovitosti v Epitaxy SIC.