SiC prevlečeni grelec za rezine

Semicorex je vodilni neodvisni proizvajalec grafita, prevlečenega s silicijevim karbidom, natančno strojno obdelanega grafita visoke čistosti, ki se osredotoča na področja proizvodnje polprevodnikov, prevlečena s silicijevim karbidom, keramiko iz silicijevega karbida in MOCVP. Naš grelec za rezine s prevleko iz SiC ima dobro cenovno ugodnost in pokriva številne evropske in ameriške trge. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Semicorex SiC Coated Wafer Heater lahko deluje v visokotemperaturni peči z več kot 3000 °C v inertni atmosferi, 2200 °C v vakuumu. Grelnik rezin s prevleko iz SiC visoke čistosti zagotavlja vrhunsko toplotno odpornost, enakomerno toplotno enakomernost za dosledno debelino epi plasti in odpornost ter trajno kemično odpornost. Fina kristalna prevleka SiC zagotavlja čisto, gladko površino, ki je ključnega pomena za rokovanje, saj se neokrnjene rezine dotikajo suceptorja na številnih točkah po celotnem območju.
Pri Semicorexu se osredotočamo na zagotavljanje visokokakovostnega in stroškovno učinkovitega grelnika rezin s prevleko iz SiC, prednost dajemo zadovoljstvu strank in zagotavljamo stroškovno učinkovite rešitve. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner, ki bo zagotavljal visokokakovostne izdelke in izjemne storitve za stranke.

Parametri grelnika rezin s prevleko iz SiC

Tehnična specifikacija	VET-M3
Nasipna gostota (g/cm3)	≥1,85
Vsebnost pepela (PPM)	≤500
Trdota po Shoru	≥45
Specifična upornost (μ.Ω.m)	≤12
Upogibna trdnost (Mpa)	≥40
Tlačna trdnost (Mpa)	≥70
Maks. Velikost zrn (μm)	≤43
Koeficient toplotnega raztezanja Mm/°C	≤4,4*10-6

Značilnosti grelnika rezin s prevleko iz SiC

- SiC prevlečen grafit visoke čistosti
- Vrhunska toplotna odpornost in toplotna enotnost
- Prevlečen s finim SiC kristalom za gladko površino
- Visoka vzdržljivost proti kemičnemu čiščenju
- Material je oblikovan tako, da ne prihaja do razpok in razslojevanja.