Keramični čolni iz silicijevega karbida

Premium izbor materiala

Odlične lastnosti silicijevega karbida Semicorexladjice iz oblatovpripisati visokokakovostnim surovinam. Izdelani iz polprevodniškega materiala SiSiC in prekriti s CVD SiC prevleko, keramični čolni iz silicijevega karbida izkazujejo naslednje odlične lastnosti.

1. Ultra-visoke čistosti, brez sproščanja kovinskih nečistoč

Nečistoča substrata: <100 ppm

Nečistoča CVD SiC prevleke: <1 ppm

2. Vrhunska toplotna stabilnost

Čolni iz keramičnih rezin iz silicijevega karbida lahko stabilno delujejo v pogojih visoke temperature 1250 ℃ in zagotavljajo minimalno deformacijo in odpornost proti lezenju.

3. Visoka mehanska trdnost

Silicijev karbidima visoko trdoto in odpornost proti obrabi, kar omogoča Semicorex keramičnim rezinam iz silicijevega karbida, da so odporni na praske, odrgnine in poškodbe, zato dobro delujejo med dolgotrajnim delovanjem in so odporni na poškodbe.

4. Izjemna odpornost proti koroziji

Ker je silicijev karbid odporen proti koroziji zaradi močnih kislin in alkalij, lahko čolni Semicorex iz keramičnih rezin iz silicijevega karbida ohranijo svojo strukturno celovitost in funkcionalno zmogljivost tudi v zelo korozivnih delovnih pogojih.

Optimizirana konstrukcijska zasnova

Semicorex keramični čolni za rezine iz silicijevega karbida so zasnovani za serijsko obdelavo rezin, njihov optimiziran strukturni okvir zagotavlja stabilno podporo za serijo rezin in dosledno stabilnost postopka za vsako rezino.

Navpična podporna struktura s 1,3 stebričkom

Navpična struktura keramičnih rezin iz silicijevega karbida Semicorex jim omogoča brezhibno ujemanje z navpičnimi aplikacijami v peči. S to strukturo lahko keramični čolni za rezine emicorex iz silicijevega karbida olajšajo homogeno kroženje procesnih plinov in enakomerno porazdelitev toplotne energije znotraj visokotemperaturne peči.

2. Enakomerno porazdeljeni ščipki rež

Čolni iz keramičnih rezin Semicorex iz silicijevega karbida so opremljeni z več natančno obdelanimi zatiči za reže na svojih podpornih drogovih. Njihovi enakomerno razporejeni zatiči rež dosegajo ustrezno razdaljo med režami, kar omogoča keramičnim rezinam iz silicijevega karbida, da trdno pritrdijo polprevodniške rezine in tako prispevajo k izboljšanju doslednosti rezultatov termične obdelave rezin.

Keramični čolni za rezine iz silicijevega karbida Semicorex se s toliko odličnimi zmogljivostmi in funkcijami pogosto uporabljajo v osnovnih procesih proizvodnje polprevodniških rezin, kot so oksidacija, difuzija, ionska implantacija in visokotemperaturno žarjenje.