Semicorex je vaš partner za izboljšanje obdelave polprevodnikov. Naše prevleke iz silicijevega karbida so goste, odporne na visoke temperature in kemikalije, ki se pogosto uporabljajo v celotnem ciklu proizvodnje polprevodnikov, vključno s polprevodniškimi rezinami in obdelavo rezin ter izdelavo polprevodnikov.
SiC keramične komponente visoke čistosti so ključne za procese v polprevodnikih. Naša ponudba obsega potrošni material za opremo za obdelavo rezin, kot so ladja za rezine iz silicijevega karbida, konzolne lopatice, cevi itd. za Epitaksijo ali MOCVD.
Prednosti za polprevodniške procese
Faze nanašanja tankega filma, kot je epitaksija ali MOCVD, ali obdelava rezin, kot je jedkanje ali ionski implantat, morajo prestati visoke temperature in ostro kemično čiščenje. Semicorex dobavlja konstrukcijo iz silicijevega karbida (SiC) visoke čistosti, ki zagotavlja vrhunsko toplotno odpornost in trajno kemično odpornost, enakomerno toplotno enakomernost za dosledno debelino epi plasti in odpornost.
Pokrovi komor →
Pokrovi komor, ki se uporabljajo pri obdelavi rasti kristalov in ravnanja z rezinami, morajo prenesti visoke temperature in ostro kemično čiščenje.
Konzolno veslo →
Konzolna lopatica je ključna komponenta, ki se uporablja v procesih izdelave polprevodnikov, zlasti v difuzijskih ali LPCVD pečeh med procesi, kot sta difuzija in RTP.
Procesna cev →
Procesna cev je ključna komponenta, posebej zasnovana v različnih aplikacijah za obdelavo polprevodnikov, kot je RTP, difuzija.
Napolitanke →
Wafer Boat se uporablja pri obdelavi polprevodnikov in je bil skrbno zasnovan, da zagotovi, da so občutljive rezine varne v kritičnih fazah proizvodnje.
Dovodni obroči →
Dovodni obroč za plin, prevlečen s SiC, z opremo MOCVD Rast spojine ima visoko toplotno in korozijsko odpornost, kar ima veliko stabilnost v ekstremnih okoljih.
Obroč za ostrenje →
Obroč za fokusiranje, prevlečen s silicijevim karbidom, ki ga dobavlja Semicorex, je res stabilen za RTA, RTP ali grobo kemično čiščenje.
Držalo za rezine →
Semicorex ultra-ploske keramične vakuumske vpenjalne glave za rezine so prevlečene s SiC visoke čistosti, ki se uporabljajo v procesu ravnanja z rezinami.
Semicorex ima tudi keramične izdelke iz aluminijevega oksida (Al2O3), silicijevega nitrida (Si3N4), aluminijevega nitrida (AIN), cirkonijevega oksida (ZrO2), kompozitne keramike itd.
Valj iz silicijevega nitrida, ki ga je predstavil Semicorex, je izdelan iz sintranega silicijevega nitrida (Si3N4), ki je visoko zmogljiv keramični material.
Preberi večPošlji povpraševanjeRotacijski tesnilni obroč Semicorex SiC je zasnovan za delovanje v pogojih visokega tlaka in visoke temperature. Zaradi njegove stabilnosti in vzdržljivosti v takšnih okoljih je neprecenljiva komponenta pri tesnjenju, kjer bi tradicionalni materiali lahko odpovedali.
Preberi večPošlji povpraševanjeRobotska roka Semicorex SiC je visoko zmogljiva robotska roka iz silicijevega karbida, zasnovana za natančnost in vzdržljivost v postopkih izdelave polprevodnikov. Izberite Semicorex zaradi našega strokovnega znanja in izkušenj pri zagotavljanju inovativnih, zanesljivih in visokokakovostnih rešitev, prilagojenih potrebam industrije polprevodnikov.*
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex SiC čolni so visoko zmogljiva keramična držala za rezine iz silicijevega karbida, zasnovana za natančnost in vzdržljivost pri difuzijskih procesih. Izberite Semicorex za neprimerljivo kakovost, strokovno znanje v panogi in prilagojene rešitve, ki optimizirajo vašo učinkovitost proizvodnje.*
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex SiC Wafer Boat Holder je keramična komponenta iz silicijevega karbida visoke čistosti, zasnovana za proces N-type TOPCon pri difuziji sončnih celic, ki ponuja izjemno natančnost, vzdržljivost in zanesljivost. Izberite Semicorex za inovativne rešitve v polprevodniških materialih, podprte z neprekosljivim strokovnim znanjem in zavezanostjo kakovosti.*
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex Silicon Carbide Wafer Boats so deli za proizvodnjo polprevodnikov in fotovoltaike, ki zagotavljajo odlično toplotno stabilnost, mehansko trdnost in kemično odpornost. Izberite Semicorex zaradi njegove vrhunske tehnologije, vrhunske kakovosti materialov in predanosti zagotavljanju zanesljivih, dolgotrajnih izdelkov, ki ustrezajo zahtevam naprednih industrijskih procesov.*
Preberi večPošlji povpraševanje