Vakuumske vpenjalne glave iz poroznega SiC

Semicorex porozni SiCvakuumske vpenjalne glaveso nepogrešljive komponente, ki se lahko v veliki meri uporabljajo v naprednih postopkih izdelave polprevodnikov, kot so tanjšanje rezin, rezanje na kocke, brušenje, poliranje, fotolitografija, jedkanje. Njihova adsorpcijska platforma je izdelana iz porozne SiC keramične plošče s številnimi enakomerno porazdeljenimi mikronskimi porami. Z doslednim premerom por in izjemno hitrostjo skoznje luknje vakuumske vpenjalne glave Semicorex iz poroznega SiC zagotavljajo gladko pot plina za vakuumsko praznjenje. Med delovanjem se med vpenjalno glavo in rezino ustvari stabilen in enakomeren podtlak, kar omogoča visoko učinkovito vakuumsko vpenjanje in sprostitev polprevodniških rezin.

Prednosti vakuumskih vpenjal Semicorex iz poroznega SiC 

1. Izjemna natančnost obdelave

Polprevodniške rezine, obdelane v napredni proizvodnji polprevodnikov, so izredno tanke, zato lahko že rahlo upogibanje, vibracije ali neenakomerna lokalna napetost povzročijo zlom rezin, zvijanje in zmanjšano natančnost v kritičnih procesih, kot je litografija. Semicorexporozni SiCvakuumske vpenjalne glave so obdelane z visoko natančnim brušenjem in poliranjem, pri čemer je dosežena popolna hrapavost površine Ra < 0,1 μm. To omogoča, da vakuumske vpenjalne glave Semicorex iz poroznega SiC zagotavljajo optimizirano delovno površino za visoko natančno proizvodnjo polprevodnikov.

2. Visoka čistoča in visoka odpornost proti koroziji

Za popolno izpolnjevanje strogih standardov čistosti polprevodnikov Semicorex izdeluje vakuumske vpenjalne glave iz poroznega SiC s surovinami iz silicijevega karbida visoke čistosti s sintranjem pri visoki temperaturi. To zagotavlja, da so vpenjalne glave brez odpadanja delcev in migracijske kovinske kontaminacije. Zaradi odlične kemične stabilnosti SiC so vakuumske vpenjalne glave Semicorex iz poroznega SiC sposobne prenesti težka korozijska okolja in ne ustvarjajo dodatnih stranskih produktov, zaradi česar so zelo primerne za postopke izdelave visokokakovostnih čistih polprevodnikov.

3. Odlična vzdržljivost in dolgoročna stabilnost

Vakuumske vpenjalne glave, ki se uporabljajo v proizvodnih linijah, morajo prenesti na tisoče ciklov adsorpcije in sproščanja ter dolgotrajna temperaturna nihanja. To nalaga izjemno visoke zahteve glede lastnosti materiala vakuumskih vpenjal. Vakuumske vpenjalne glave Semicorex iz poroznega SiC odlikujejo izjemna trdota materiala in odpornost proti obrabi ter stabilna toplotna ekspanzija. Pri visokih temperaturah ne kažejo lezenja ali poslabšanja delovanja, kar bistveno podaljša njihovo življenjsko dobo in zmanjša pogostost vzdrževanja in zamenjave komponent.