Keramični čolni za rezine Semicorex SiC so visoko zmogljive rešitve iz silicijevega karbida, zasnovane za varno podporo in transport rezin med najsodobnejšo proizvodnjo polprevodnikov. Zahvaljujoč tem odličnim prednostim so zelo primerni za natančne visokotemperaturne proizvodne procese polprevodnikov, kot so oksidacija, difuzija in CVD procesi.
Izbira zanesljivih in vzdržljivih ladij za rezine je ključnega pomena za zagotovitev stabilnosti procesa in izkoristka rezin med delovnimi pogoji pri visokih temperaturah in visoki koroziji. SemicorexSiC keramikaVaferski čolni so idealna izbira za te namene, saj obdelujejo svoje številne prednosti, vključno z visoko integracijo, visoko stabilnostjo, odpornostjo na visoke temperature, odpornostjo proti obrabi in dolgo življenjsko dobo.
Semicorexov nadzor kakovosti nadSiC keramični čolni za rezinese začne z njihovim strogim izborom surovin. Keramične rezine Semicorex SiC so narejene iz prahu silicijevega karbida na ravni polprevodnikov visoke čistosti z visokotemperaturnim sintranjem. Zahvaljujoč vrhunskim surovinam zagotavljajo naslednje izjemne zmogljivosti.
1. Ultra-visoka čistost, nizka kontaminacija s kovinskimi nečistočami.
2. Gosta struktura materiala, ki zmanjšuje kontaminacijo rezin, ki jo povzroči izločanje delcev.
3. Odlična odpornost proti koroziji proti plazmi, močnim kislinam in alkalijam.
4. Visoka trdota in mehanska trdnost, odporna na obrabo in praske.
5. Izjemna toplotna stabilnost, brez deformacij ali lezenja pri 1250°C.
6. Odlična odpornost na toplotne udarce, ki zmanjšuje toplotno obremenitev zaradi hitrih temperaturnih sprememb.
Keramični čolni za rezine Semicorex SiC se dobro ujemajo s številnimi vodilnimi proizvajalci originalne opreme za peči v industriji, kot so TEL, ASM in Kokusai Electric. Semicorex ponuja prilagojene rešitve za naše cenjene stranke, ki podpirajo prilagoditev dimenzij rezin, naklona reže, globine reže, profila reže (v obliki črke V ali U) in ustreznih kotov, da se omogoči popolna združljivost z vašo opremo in zahtevami glede obdelave.
Podprto z napredno obdelovalno opremo in zrelimi tehnologijami obdelave lahko Semicorex strogo nadzoruje dimenzije in tolerance svojih SiC keramičnih rezin. Ta visoko natančen nadzor dimenzij zagotavlja, da so polprevodniške rezine med delovanjem trdno nameščene, kar učinkovito preprečuje poškodbe rezin zaradi zdrsa ali nagibanja. Po natančni obdelavi lahko enakomerno razporejene reže SiC keramičnih rezin zagotovijo, da se vsaka rezina segreje in enakomerno reagira med procesi oksidacije, difuzije in CVD, kar močno prispeva k izboljšanju doslednosti procesa in izkoristka polprevodniškega čipa.