Kot profesionalni proizvajalec bi vam radi ponudili polprevodniške komponente. Semicorex je vaš partner za izboljšanje obdelave polprevodnikov. Naše prevleke iz silicijevega karbida so goste, odporne na visoke temperature in kemikalije, ki se pogosto uporabljajo v celotnem ciklu proizvodnje polprevodnikov, vključno s polprevodniškimi rezinami in obdelavo rezin ter izdelavo polprevodnikov.
Komponente s prevleko iz SiC visoke čistosti so ključne za procese v polprevodnikih. Naša ponudba obsega vse od grafitnih potrošnih materialov za vroče cone za rast kristalov (grelniki, susceptorji lončkov, izolacija) do visoko natančnih grafitnih komponent za opremo za obdelavo rezin, kot so grafitni susceptorji, prevlečeni s silicijevim karbidom, za epitaksijo ali MOCVD.
Prednosti za polprevodniške procese
Faze nanašanja tankega filma, kot je epitaksija ali MOCVD, ali obdelava rezin, kot je jedkanje ali ionski implantat, morajo prestati visoke temperature in ostro kemično čiščenje. Semicorex dobavlja grafitno konstrukcijo, prevlečeno s silicijevim karbidom (SiC) visoke čistosti, ki zagotavlja vrhunsko toplotno odpornost in trajno kemično odpornost, enakomerno toplotno enakomernost za dosledno debelino epi plasti in odpornost.
Pokrovi komor →
Pokrovi komor, ki se uporabljajo pri obdelavi rasti kristalov in ravnanja z rezinami, morajo prenesti visoke temperature in ostro kemično čiščenje.
Končni efektor →
Končni efektor je robotova roka, ki premika polprevodniške rezine med položaji v opremi za obdelavo rezin in nosilcih.
Dovodni obroči →
Dovodni obroč za plin, prevlečen s SiC, z opremo MOCVD Rast spojine ima visoko toplotno in korozijsko odpornost, kar ima veliko stabilnost v ekstremnih okoljih.
Obroč za ostrenje →
Obroč za fokusiranje, prevlečen s silicijevim karbidom, dobavlja Semicorex, ki je resnično stabilen za RTA, RTP ali grobo kemično čiščenje.
Držalo za rezine →
Semicorex ultra-ploske keramične vakuumske vpenjalne glave za rezine so prevlečene s SiC visoke čistosti, ki se uporabljajo v procesu ravnanja z rezinami.
Grelna nitka Semicorex SiC je grafitni grelec, prevlečen s silicijevim karbidom, zasnovan za ogrevanje rezin v napredni proizvodnji polprevodnikov. Izbira Semicorexa pomeni izbiro zaupanja vrednega partnerja, ki zagotavlja materiale visoke čistosti, natančno prilagajanje in dolgotrajno delovanje za najzahtevnejše termične procese.*
Preberi večPošlji povpraševanjeVpenjalne glave iz silicijevega karbida Semicorex so posebej zasnovane za opremo za fotolitografijo in imajo številne prednosti, kot so visoka natančnost, ultralahka teža, visoka togost, nizek koeficient toplotnega raztezanja in odlična odpornost proti obrabi.
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex SiC Furnace Tubes so cevi iz silicijevega karbida visoke čistosti, izdelane z napredno tehnologijo 3D tiskanja, zasnovane za visokotemperaturne fotovoltaične procese. Semicorex ponuja vrhunske rešitve SiC z vrhunsko močjo, stabilnostjo in zanesljivostjo, ki jim zaupa solarna industrija po vsem svetu.*
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex SiC Paddles so konzolna roka iz silicijevega karbida visoke čistosti, zasnovana za transport rezin v visokotemperaturnih oksidacijskih in difuzijskih pečeh nad 1000 ℃. Izbira Semicorexa pomeni zagotavljanje izjemne kakovosti materiala, natančnega inženiringa in dolgoročne zanesljivosti, ki ji zaupajo vodilne tovarne polprevodnikov.*
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex SiC Focus Ring je obročna komponenta iz silicijevega karbida visoke čistosti, zasnovana za optimizacijo porazdelitve plazme in enotnosti procesa rezin v proizvodnji polprevodnikov. Izbira Semicorexa pomeni zagotavljanje dosledne kakovosti, naprednega inženiringa materialov in zanesljive zmogljivosti, ki ji zaupajo vodilne tovarne polprevodnikov po vsem svetu.*
Preberi večPošlji povpraševanjeChuck za brušenje polpredsednika polprevodivo je keramični disk iz bele glinice, ki je zasnovana za brušenje robov rezin v proizvodnji polprevodnikov. Izbira Semicorex zagotavlja vrhunsko kakovost materiala, natančno inženiring in zanesljive zmogljivosti, ki podpirajo najzahtevnejša okolja za obdelavo rezin.*
Preberi večPošlji povpraševanje