Procesne cevi Semicorex SiC so izdelane iz SiC keramike visoke čistosti s CVD SiC prevleko, primerne so za horizontalne peči v Semiconductor. Glede na kakovost izdelkov in poprodajnih storitev je Semicorex tisti, ki želi kakovostno poslovati z našimi strankami po vsem svetu.*
Procesne cevi Semicorex SiC so proizvedene s 3D-tiskanjem integriranega procesa oblikovanja namesto z običajnim stiskanjem ali sestavljanjem cevi. Ta proizvodni proces omogoča neprekinjeno, dosledno strukturo keramike brez spojev in šibkih območij, kar ustvarja visoko stopnjo kompleksnosti in natančnosti dimenzij, kar lahko zmanjša koncentracijo napetosti in hkrati poveča mehansko trdnost. Poleg tega monolitna struktura zagotavlja tesnjenje, neprepustno za zemeljski plin, kar zmanjšuje onesnaženje in puščanje med visokotemperaturnimi procesi.
Procesne cevi SiC izdelujesintranega silicijevega karbida, je lahko SiC, SSiC ali RSiC in CVD SiC prevleka na površini, ki bo tvorila plast ultra visoke čistosti. Lahko prepreči onesnaženje z delci, pepelom itd. In material ima zelo visoko odpornost na toplotne udarce, tako da lahko procesne cevi SiC ostanejo stabilne pri visoki temperaturni odpornosti in preprečijo, da bi se nečistoče izločile pri visokih temperaturah in tako onesnažile okolje.
Te procesne cevi iz SiC so zasnovane za uporabo v atmosferah z reaktivnim plinom (kisikom), zaščitnim plinom (dušikom) in minimalnimi količinami plina klorovodika ter nudijo izjemno kemično odpornost, toplotno stabilnost in čistost materiala do 1250 °C. Procesne cevi Semicorex SiC združujejo najsodobnejšo proizvodnjo 3D-tiskanja s prevleko s kemičnim naparjevanjem (CVD), da zagotovijo vrhunsko zmogljivost in življenjsko dobo v najbolj ekstremnih toplotnih in kemičnih pogojih.
Procesne cevi Semicorex SiC so proizvedene s 3D-tiskanjem integriranega procesa oblikovanja namesto z običajnim stiskanjem ali sestavljanjem cevi. Ta proizvodni proces omogoča neprekinjeno, dosledno strukturo keramike brez spojev in šibkih območij, kar ustvarja visoko stopnjo kompleksnosti in natančnosti dimenzij, kar lahko zmanjša koncentracijo napetosti in hkrati poveča mehansko trdnost. Poleg tega monolitna struktura zagotavlja tesnjenje, neprepustno za zemeljski plin, kar zmanjšuje onesnaženje in puščanje med visokotemperaturnimi procesi.
TheSiCtelesa je material z ultra nizko vsebnostjo nečistoč (< 300 ppm), ki zagotavlja odlično čistost materiala in stabilnost za reaktivne atmosfere. Poleg tega je cev prevlečena s plastjo silicijevega karbida CVD (< 5 ppm) za izboljšanje odpornosti proti koroziji in zaščite površine.
Semicorex zagotavlja prilagojeno storitev, lahko izdelamo po risbah strank, da izpolnimo zahtevane specifikacije. Procesne cevi Semicorex SiC so lahko alternativno primerne ne samo za vodoravne peči, ampak tudi za navpične peči.