Kot profesionalni proizvajalec bi vam radi ponudili polprevodniške komponente. Semicorex je vaš partner za izboljšanje obdelave polprevodnikov. Naše prevleke iz silicijevega karbida so goste, odporne na visoke temperature in kemikalije, ki se pogosto uporabljajo v celotnem ciklu proizvodnje polprevodnikov, vključno s polprevodniškimi rezinami in obdelavo rezin ter izdelavo polprevodnikov.
Komponente s prevleko iz SiC visoke čistosti so ključne za procese v polprevodnikih. Naša ponudba obsega vse od grafitnih potrošnih materialov za vroče cone za rast kristalov (grelci, susceptorji lončkov, izolacija) do visoko natančnih grafitnih komponent za opremo za obdelavo rezin, kot so grafitni susceptorji, prevlečeni s silicijevim karbidom, za epitaksijo ali MOCVD.
Prednosti za polprevodniške procese
Faze nanašanja tankega filma, kot je epitaksija ali MOCVD, ali obdelava rezin, kot je jedkanje ali ionski vsadek, morajo prestati visoke temperature in ostro kemično čiščenje. Semicorex dobavlja grafitno konstrukcijo, prevlečeno s silicijevim karbidom (SiC) visoke čistosti, ki zagotavlja vrhunsko toplotno odpornost in trajno kemično odpornost, enakomerno toplotno enakomernost za dosledno debelino epi plasti in odpornost.
Pokrovi komore â
Pokrovi komor, ki se uporabljajo pri obdelavi rasti kristalov in ravnanja z rezinami, morajo prenašati visoke temperature in ostro kemično čiščenje.
Končni efektor â
Končni efektor je robotova roka, ki premika polprevodniške rezine med položaji v opremi za obdelavo rezin in nosilcih.
Dovodni obroči â
Dovodni obroč za plin, prevlečen s SiC, z opremo MOCVD Rast spojine ima visoko toplotno in korozijsko odpornost, kar ima veliko stabilnost v ekstremnem okolju.
Fokusni obroč â
Obroč za fokusiranje, prevlečen s silicijevim karbidom, dobavlja Semicorex, ki je resnično stabilen za RTA, RTP ali grobo kemično čiščenje.
Držalo za rezine â
Semicorex ultra-ploske keramične vakuumske vpenjalne glave za rezine so prevlečene s SiC visoke čistosti, ki se uporabljajo v procesu ravnanja z rezinami.
Predstavljamo vam roko za prenos rezin, ki jo je zasnovala in izdelala naša skupina strokovnjakov na Kitajskem. Ta izdelek je posebej zasnovan za zagotavljanje varnega in učinkovitega prenosa rezin z ene lokacije na drugo, ne da bi poškodovali občutljivo površino.
Preberi večPošlji povpraševanjeNapredne komponente Semicorex visoke čistosti, prevlečene s silicijevim karbidom, so izdelane tako, da prenesejo ekstremna okolja v procesu ravnanja z rezinami. Naše vpenjalne glave za polprevodniške rezine imajo dobro cenovno ugodnost in pokrivajo številne evropske in ameriške trge. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeIzjemno čiste keramične komponente Semicorex, ki so kot nalašč za uporabo naslednje generacije litografije in ravnanja z rezinami, zagotavljajo minimalno kontaminacijo in zagotavljajo izjemno dolgo življenjsko dobo. Naše vakuumske vpenjalne glave za rezine imajo dobro cenovno ugodnost in pokrivajo številne evropske in ameriške trge. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeVzdržljivi fokusni obroči Semicorex za obdelavo polprevodnikov so zasnovani tako, da prenesejo ekstremna okolja komor za plazemsko jedkanje, ki se uporabljajo pri obdelavi polprevodnikov. Naši fokusni obroči so narejeni iz grafita visoke čistosti, prevlečenega z gosto, proti obrabi odporno prevleko iz silicijevega karbida (SiC). Prevleka SiC ima visoko odpornost proti koroziji in toploti ter odlično toplotno prevodnost. SiC nanašamo v tankih plasteh na grafit s postopkom kemičnega naparjevanja (CVD), da izboljšamo življenjsko dobo naših fokusnih obročev.
Preberi večPošlji povpraševanjeFokusni obroč za plazemsko obdelavo Semicorex je posebej zasnovan za izpolnjevanje visokih zahtev obdelave s plazemskim jedkanjem v industriji polprevodnikov. Naše napredne komponente s prevleko iz silicijevega karbida visoke čistosti so izdelane tako, da prenesejo ekstremna okolja in so primerne za uporabo v različnih aplikacijah, vključno s plastmi silicijevega karbida in epitaksijskimi polprevodniki.
Preberi večPošlji povpraševanjeNapredni fokusni obroči iz SiC visoke čistosti Semicorex so izdelani tako, da prenesejo ekstremna okolja v komorah za plazemsko jedkanje (ali suho jedkanje). Osredotočeni smo na industrijo polprevodnikov, kot so plasti silicijevega karbida in epitaksija polprevodnikov. Naši izdelki imajo dobro cenovno ugodnost in pokrivajo številne evropske in ameriške trge. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanje