Kot profesionalni proizvajalec bi vam radi ponudili polprevodniške komponente. Semicorex je vaš partner za izboljšanje obdelave polprevodnikov. Naše prevleke iz silicijevega karbida so goste, odporne na visoke temperature in kemikalije, ki se pogosto uporabljajo v celotnem ciklu proizvodnje polprevodnikov, vključno s polprevodniškimi rezinami in obdelavo rezin ter izdelavo polprevodnikov.
Komponente s prevleko iz SiC visoke čistosti so ključne za procese v polprevodnikih. Naša ponudba obsega vse od grafitnih potrošnih materialov za vroče cone za rast kristalov (grelci, susceptorji lončkov, izolacija) do visoko natančnih grafitnih komponent za opremo za obdelavo rezin, kot so grafitni susceptorji, prevlečeni s silicijevim karbidom, za epitaksijo ali MOCVD.
Prednosti za polprevodniške procese
Faze nanašanja tankega filma, kot je epitaksija ali MOCVD, ali obdelava rezin, kot je jedkanje ali ionski vsadek, morajo prestati visoke temperature in ostro kemično čiščenje. Semicorex dobavlja grafitno konstrukcijo, prevlečeno s silicijevim karbidom (SiC) visoke čistosti, ki zagotavlja vrhunsko toplotno odpornost in trajno kemično odpornost, enakomerno toplotno enakomernost za dosledno debelino epi plasti in odpornost.
Pokrovi komore â
Pokrovi komor, ki se uporabljajo pri obdelavi rasti kristalov in ravnanja z rezinami, morajo prenašati visoke temperature in ostro kemično čiščenje.
Končni efektor â
Končni efektor je robotova roka, ki premika polprevodniške rezine med položaji v opremi za obdelavo rezin in nosilcih.
Dovodni obroči â
Dovodni obroč za plin, prevlečen s SiC, z opremo MOCVD Rast spojine ima visoko toplotno in korozijsko odpornost, kar ima veliko stabilnost v ekstremnem okolju.
Fokusni obroč â
Obroč za fokusiranje, prevlečen s silicijevim karbidom, dobavlja Semicorex, ki je resnično stabilen za RTA, RTP ali grobo kemično čiščenje.
Držalo za rezine â
Semicorex ultra-ploske keramične vakuumske vpenjalne glave za rezine so prevlečene s SiC visoke čistosti, ki se uporabljajo v procesu ravnanja z rezinami.
Semicorex je vaš partner za napredne grafitne komponente in sklope, ki podpirajo večjo prepustnost in boljše donose v vaši opremi za obdelavo polprevodnikov. Naši strokovnjaki za materiale so pripravljeni sodelovati z vami pri razvoju optimalne prave rešitve za vaše zahteve glede ravnanja z rezinami, segrevanja in obdelave. Naš keramični končni efektor ima dobro cenovno ugodnost in pokriva številne evropske in ameriške trge. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjePokrov komore iz silicijevega karbida, ki se uporablja pri rasti kristalov in obdelavi rezin, mora prenesti visoke temperature in ostro kemično čiščenje. Semicorex je obsežen proizvajalec in dobavitelj grafitnih susceptorjev, prevlečenih s silicijevim karbidom, na Kitajskem. Naši izdelki imajo dobro cenovno ugodnost in pokrivajo številne evropske in ameriške trge. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner.
Preberi večPošlji povpraševanjePokrov vakuumske komore MOCVD, ki se uporablja pri rasti kristalov in obdelavi rezin, mora prenašati visoke temperature in ostro kemično čiščenje. Pokrov vakuumske komore MOCVD s prevleko iz silicijevega karbida Semicorex je zasnovan posebej za kos tem zahtevnim okoljem. Naši izdelki imajo dobro cenovno ugodnost in pokrivajo številne evropske in ameriške trge. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanje