Vpenjalne glave iz silicijevega karbida

Semicorexvpenjalne glave iz silicijevega karbidaso funkcionalne adsorpcijske naprave, izdelane izsilicijev karbid(SiC) keramični material. Uporabljajo se predvsem v polprevodnikih, fotovoltaiki, natančni proizvodnji in drugih scenarijih, ki imajo izjemno visoke zahteve glede odpornosti na visoke temperature, odpornosti proti obrabi, odpornosti proti kemični koroziji in čistosti materialov.

Keramični material SiC je odporen na visoke temperature in ohranja svojo strukturno stabilnost v okoljih z visoko temperaturo. Njegova odlična toplotna prevodnost mu omogoča hitro odvajanje toplote, ki nastane med adsorpcijo, kar preprečuje pregrevanje obdelovanca. Zaradi izjemne trdote materiala je primeren za prijemanje grobih ali trdih obdelovancev. Poleg tega je keramični material SiC zaradi kemične inertnosti odporen proti koroziji zaradi močnih kislin, močnih alkalij in organskih topil. Zmogljivost tega materiala pri obarjanju z nizko vsebnostjo nečistoč preprečuje kontaminacijo z nečistočami in podaljšuje normalni čas delovanja opreme, s čimer izpolnjuje zahteve ultra čiste industrije polprevodnikov.

Tipične značilnosti vpenjalnih glav Semicorex iz silicijevega karbida

1. Visoka natančnost: ravnost je 0,3-0,5 μm.

2. Poliranje ogledal

3. Ultra lahka teža

4. Visoka togost

5. Nizek koeficient toplotnega raztezanja

6. Odlična odpornost proti obrabi

Scenariji uporabe vpenjal iz silicijevega karbida

Proizvodnja polprevodnikov

Prenos in obdelava rezin: V postopkih, kot sta fotolitografija in jedkanje, mora biti rezina stabilno adsorbirana v vakuumskem okolju, da se izognemo napakam pri premikanju.

Odpornost proti koroziji v plazmi: V procesu jedkanja polprevodnikov lahko odlična odpornost proti koroziji podaljša življenjsko dobo izdelka.

Proizvodnja fotovoltaičnih celic

Rezanje silicijevih rezin: Adsorbira silicijeve rezine, da se upre rezalnim vibracijam in zmanjša stopnjo drobljenja silicijevih rezin.

5. Nizek koeficient toplotnega raztezanja

Obdelava safirnega substrata: Safirni substrati, ki se uporabljajo pri proizvodnji LED čipov, zahtevajo vakuumsko adsorpcijo. Adsorpcijska sila mora premagati težo podlage in preprečiti praskanje površine izdelka.

Vpenjalne glave iz silicijevega karbida so postale ključni potrošni material na vrhunskem proizvodnem področju zaradi svoje odlične zmogljivosti, ki spodbuja tehnološki napredek v industrijah, kot so polprevodniki, fotovoltaika in recikcijska proizvodnja.