Poročni aluminalniki Poročne alumina so mikroporna črne alumina vakuumske napeljave s 35–40% poroznostjo, zasnovana tako, da zagotavlja enakomerno sesanje in varno ravnanje z rezinami pri proizvodnji polprevodnikov. Izbira Semicorex pomeni zanesljiv keramični inženiring, vrhunsko kakovost materiala in dosledne zmogljivosti, ki varujejo donos in stabilnost.*
Poročni aluminalniki polprece so namenjeni za najbolj občutljive rezine. Njihova porozna zasnova zagotavlja zagotovilo dosledne porazdelitve vakuuma po površini, kar zagotavlja zmanjšan lokaliziran stres in pomaga pri preprečevanju roba in loma robov. Mehansko vpenjanje (trdno ali kako drugače) ni tako učinkovito kot mikroporozno omrežje, ki vsebuje enakomerne rezine brez pretiranega omejevanja mehanskega stresa, hkrati pa varno pritrdi rezino, saj mikroporozna struktura preprečuje obrabo in zagotavlja nežno držanje. Potreba po enotni adsorpciji na celotni površini je še posebej kritična za rezine, ki so večje in tanjše, ki lahko med avtomatiziranim ravnanjem prenašajo veliko manj stresa in med izvajanjem visokih korakov obdelave natančnosti.
Optimiziran za 35-40% poroznost, Chuck razvije mrežo medsebojnih povezovalnih pore, ki služijo za evakuacijo zraka, hkrati pa zagotavljajo dovolj mehanske moči, da se rezine drži proti procesnim silam. To pomeni, da silo za vakuum ostane stabilno, medtem ko premikate rezine, tudi v hitrem zaporedju, medtem ko izvaja kompleksno zaporedje procesov. Adsorpcija znotraj mikroporoznega omrežja zagotavlja večjo stabilnost kot s preprosto ustvarjanje razlik v tlaku znotraj vakuumskega sistema.
Črna alumina (al₂o₃) je sama po sebi vrhunski material, ker je trda, odporna proti obrabi in kemično inertna. Ne bo poslabšala nobene pomembne površine in je ne vpliva na ponavljajoče se cikle rezine (namestitev/ adsorpcijo/ hlajenje vakuuma). ČrnaAluminaje dimenzijsko stabilno, zato se ne bo spremenila kljub temperaturnim spremembam, ki se med postopkom (ogrevanje in hlajenje) ali v okolju pojavijo naravno.
Kemična odpornost je še ena ključna prednost črne glinice. Chuck lahko deluje v agresivnem čiščenju, plazmi in jedkanju, ne da bi pri tem ogrozil njegovo strukturno celovitost. Njegova inerstnost preprečuje kontaminacijo površine rezin, kar zagotavlja visoko čistost procesa in spoštovanje standardov čistega prostora.
Mikroporozna struktura ponuja tudi podporno površino, ki lajša koncentracijo napetosti na tankih in krhkih rezinah. V tandemu z natančno površinsko ploščnostjo in gladko površinsko obdelavo bodo porozni glivci iz glinice zmanjšali pojav mikro okrnjenj in prask, ki bi lahko ogrozili celovitost rezine.
Alumina keramikaIma vrhunsko trdoto, visoko mehansko trdnost, nizki toplotni koeficient širitve in odlično toplotno stabilnost, zaradi česar je praktičen material za natančno uporabo polprevodnikov. Prav tako njegova kemična inertnost pomeni, da lahko zdrži kisline, alkalije in plazmo, medtem ko lastnosti odpornosti proti obrabi zagotavljajo trajnost, te prednosti naredijo gradivo za mikroporozne vakuumske chucks in zagotavljajo zanesljivost in predvidljivost zmogljivosti.
Za zaključek so porozni glivki iz glinice zasnovani tako, da zagotavljajo enotno in preživelo ravnanje z rezinami. Njegova mikroporna struktura črne glinice ponuja enakomerno adsorpcijo vakuuma (enakomernost), hkrati pa zmanjšuje mehanski stres in zmanjšanje poškodb rezin. Kot Chuck bistvena in optimalna poroznost skupaj z izjemnimi toplotnimi, mehanskimi in kemijskimi lastnostmi pomaga optimizirati varnost, vrednost in zanesljivost delovanja rezin v ostrih izdelavi. Odlična kombinacija robustnih, enotnih in varnih ravnanj, ki jih lahko ponudniki poroznih glivcev ponujajo proizvajalcem, so preprosto redke in edinstvene.