domov > Izdelki > Polprevodniške komponente > Wafer Chuck > AL2O3 vakuumski chucks
AL2O3 vakuumski chucks
  • AL2O3 vakuumski chucksAL2O3 vakuumski chucks

AL2O3 vakuumski chucks

Semicorex AL2O3 vakuumski Chucks so mikroporozna keramična adsorpcijska napeljava, narejena iz črne glinice s poroznostjo 35–40%, posebej zasnovana za ravnanje z rezinami v polprevodniških aplikacijah. Izbira polpredstanitve pomeni koristi od napredne keramične tehnologije, natančnega inženiringa in zanesljive kakovosti izdelkov, ki zagotavljajo stabilne zmogljivosti v zahtevnih čistih okoljih.*

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka


Semicorex al₂o₃ vakuumski chucks so natančne mikroporozne keramične komponente, razvite za uporabo rezin, fiksacije in obdelave v industriji polprevodnikov. Izdelana iz črne glinice z nadzorovano poroznostjo 35%-40%, je izjemno stabilen, čist in zanesljiv medij za postopke adsorpcije vakuuma. Chuck združuje keramično obdelavo substrata na funkcionalno površino z uporabo naprednih proizvodnih tehnik, da se zagotovi dosledne zmogljivosti sesanja za uporabnikovo krhko rezino med kritičnimi koraki.


ČrnAlumina (al₂o₃); ima edinstveno ravnovesje mehanske trdnosti, trdote in kemične odpornosti v primerjavi s kovinami in polimeri. Mikroporozna struktura je optimizirana za nadzorovano poroznost, da zagotovi dosledno porazdelitev vakuuma po površini vakuumskega Chucka. Dosledna porazdelitev vakuuma po celotni površini rezin rezin zmanjša lokalizirane koncentracije napetosti, kar omejuje tveganje za popačenje rezin, robov in lomljenje. Ker se izdelava rezin še naprej povečuje v premeru, geometrije in naprave pa postanejo bolj krhke, postanejo pomembne zahteve, ki se izvajajo zanesljivost obdelave rezin.


Nadzorovana poroznost 35–40% predstavlja ključno značilnost tega vakuumskega kretenja. Optimizirana pora omrežje lahko zmanjša turbulenco med evakuacijo zraka z območja por in ohrani silo zadrževanja, hkrati pa ohranja mehansko trdnost in trajnost. Nasprotno pa mehanske sponke uporabljajo plošče, ki povzročajo lokalizirane napetostne točke in delujejo proti mehanskim lastnostim posamezne rezine. Mikroporozna površina glinice je torej boljša pri držanju rezin ravne in neprimerne med mehanskimi pristopi. To pomeni popoln kandidat za visokotehnološke polprevodniške procese, ki imajo koristi od ravne plošče in gladkosti, vključno z litografijo, jedljim, odlaganjem in meropologijo.


S toplotne perspektive ima material črne glinice odlično to sposobnost ohranjanja dimenzijske stabilnosti med povišano temperaturo. Z nizkim koeficientom toplotne ekspanzije lahko vakuumski chuck ostane natančen tudi med cikli ogrevanja in hlajenja, kar je kritičen vidik zaradi hitrega nihanja temperature, ki se pogosto pojavlja v obdelovalnih okoljih rezin. Trdota in odpornost proti obrabi te keramike prav tako povečata dolgo življenjsko dobo Chucka, kar zmanjšuje pogostost vzdrževanja za upravljavce opreme in znižuje skupne stroške lastništva.


Kemična inertnost keramike alumina je še ena velika lastnost. V polprevodniških Fabs morajo sestavni deli opreme brez poslabšanja prenašati agresivne kemikalije, čistila ali plazemska okolja. Črna alumina ima odlične lastnosti za odpor do korozije, oksidacije in/ali površinske kontaminacije, s čimer ohrani strukturno in strukturno/fazno stabilnost v obdobjih vzbujenega delovnega cikla. Ta lastnost pomeni tudi, da rezine niso podvržene kontaminaciji, ki ščiti krog pred tem, kako te naprave izvajajo, in tudi zaupajo protokolom čistega prostora.


Ne le, da ima al₂o₃ vakuumski chucks odlične funkcionalne lastnosti, površinska zaključka je tudi tesno nadzorovana. Konec je ustvarjen s postopki obdelave in poliranja z visoko natančnostjo, ki dajejo enakomerno ravnost in gladkost, tako da se lahko obdržijo občutljive rezine brez prask ali površinskih poškodb. Zelo inženirska poroznost materiala daje primerno ravnovesje med sesanjem in površinsko zaščito, kar omogoča ustrezno silo zadrževanja na rezini, hkrati pa se izogne ​​morebitnim poškodbam tankih, krhkih podlagah.


Z operativnega stališča so vakuumski chucks al₂o₃ ključna sestavina v sodobni proizvodnji polprevodnikov. Olajša avtomatizacijo, kar omogoča, da se rezine prevzamejo, postavijo, poravnajo in obdelujejo, kar zanesljivo izpolnjuje zahteve glede procesa. Črna barva alumine pomaga tudi in zagotavlja pragmatične prednosti z zmanjšanjem odboja svetlobe med optičnimi pregledi in postopki merjenja, zlasti kadar se uporablja visoko natančna optična oprema.


Združevanje napredne keramične tehnologije z dobro premišljeno zasnovo je prineslo v vakuumskih Chucksu Al₂o₃, dolgotrajno in visokozmogljivo rešitev za izzive, ki se ukvarjajo z rezinami polprevodnikov. AL₂O₃ VAKUUM CHUCKS izboljšuje produktivnost z zmanjšano izgubo rezin, zmanjšuje izpad zaradi trajnosti in poveča stabilnost procesa z zagotavljanjem dosledne sile vakuuma.


Semicorex al₂o₃ vakuumski chucks iz mikroporozne črne barveAluminaje več kot le napeljava; Je kritični dejavnik natančne proizvodnje polprevodnikov. S svojo optimizirano poroznostjo, izjemnimi materialnimi lastnostmi in močnimi zmogljivostmi zagotavlja zanesljivo ravnanje z rezinami v najzahtevnejših postopkih izdelave. Za proizvajalce, ki želijo doseči večji donos, izboljšanje učinkovitosti procesa in vrhunske zmogljivosti opreme, je vakuumska chuck črne glinice nepogrešljiva izbira.





Hot Tags: Al2O3 Vacuum Chucks, Kitajska, proizvajalci, dobavitelji, tovarna, prilagojena, razsuta, napredna, trpežna
Povezana kategorija
Pošlji povpraševanje
Prosimo, oddajte svoje povpraševanje v spodnjem obrazcu. Odgovorili vam bomo v 24 urah.
Podobni izdelki
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept