SiC vesla

Semicorex SiC lopatice so "nosilci" rezin, ki vozijo rezine v peči, vroče od 1000 stopinj Celzija. To je njihova ključna prednost: visoka čistost, stabilnost pri visokih temperaturah, za ohranjanje mehanske togosti pri transportu vzorca v ekstremnih okoljih. Materiali visoke čistosti so učinkoviti pri preprečevanju, da bi kovinske nečistoče onesnažile rezin; tako tudi visoka temperaturna stabilnostsilicijev karbid, saj bo ohranil kemično stabilnost pri temperaturah obdelave, ki preprečujejo izločanje kovinskih nečistoč ali delcev, ki bi kontaminirali rezin, kar zagotavlja stabilen izkoristek rezin. nazadnje,konzolna veslaso združljivi tudi z integriranimi sistemi za prenos rezin, kar dodatno zmanjšuje odvisnost od ljudi in povečuje pretok.

SiC lopatice so edinstvena komponenta nosilca, posebej za transport in integracijo polprevodniške rezine v serijsko delovno obremenitev v procesih, kot sta med drugim visokotemperaturna oksidacija in difuzija. Izdelano z visoko čistostjosilicijev karbid (SiC)SiC vesla zagotavljajo toplotno stabilnost, mehansko trdnost in kemično vzdržljivost za zagotovitev stabilnega transporta nad temperaturami nad 1000 °C. SiC lopatice so potrebne za obdelavo rezin: zagotovile bodo, da je mogoče z krhkimi substrati ustrezno ravnati, hkrati pa ohraniti celovitost in konsistenco med postopkom oksidacije, difuzije in žarjenja.

SiC Paddles so zasnovani tako, da so robustni in zanesljivi, konzolne roke, ki držijo ladje ali nize rezin. Lopatica podpira rezine med vstavljanjem ali odstranjevanjem iz procesne komore. Običajni materiali pri teh visokih temperaturah pokvarijo zaradi deformacije, zvijanja ali kemične razgradnje. Mehanska stabilnost in strukturna celovitost silicijevega karbida omogočata, da veslo preživi več termičnih ciklov brez izgube oblike ali funkcije. Ta zmožnost je pomembna za vzdrževanje poravnave peči, zagotavljanje, da se rezine med postopkom ne poškodujejo, in zmanjšanje dragih izpadov.

Toplotno stabilnost SiC Paddles dopolnjuje odlična kemična odpornost na reaktivne pline, ki se običajno pojavijo pri oksidacijskih in difuzijskih procesih (npr. kisik, klor in druge agresivne vrste pri visoki temperaturi). Številni materiali se bodo uničili ali onesnažili, če bodo izpostavljeni visoki temperaturi in kisiku. Silicijev karbid je kemično inerten in njegova gosta mikrostruktura zagotavlja, da ne pride do kemičnih reakcij, kar zagotavlja strukturno celovitost lopatice in čisto okolje za rezino. Posledično tveganje za kontaminacijo je čim manjše za proizvajalce polprevodnikov, ki delujejo na nekaterih najnaprednejših procesnih vozliščih, pri katerih lahko celo elementi kontaminatov v sledovih povzročijo pomembne spremembe v delovanju naprave.

Mehanska celovitost, povezana z vesli SiC, prav tako zagotavlja vrednost pri postopkih rokovanja. Konzolna strukturna oblika zahteva material, ki lahko zadrži težo skladov plasti in se ne upogne ali povesi. Zaradi zelo visokega modula in zelo visoke trdote je silicijev karbid dobro upoštevanje zahtevane mehanske strukturne funkcije. SiC Paddle ohrani ravnost in strukturo tudi ob obremenitvi z rezinami. To pomeni stalno kontrolo peči in njenih pogojev v dolgih proizvodnih obdobjih.