SiC keramično veslo

Keramična lopatica Semicorex SiC je napreden del, ki je bil razvit za uporabo v visokotemperaturnih polprevodniških pečeh, kot sta oksidacija in difuzija. Veslo deluje kot konzolna podpora za držanje in premikanje rezin pri visokih temperaturah. Keramična lopatica Semicorex SiC daje keramične komponente visoke čistosti in visoke trdnosti za visokotemperaturne postopke, ki zahtevajo zanesljivost, stabilnost in zmogljivost, ki so zahtevne skozi proizvodni proces.

Lopatice so izdelane iz materiala visoke čistostisilicijev karbid (SiC), posebej oblikovana za vzdržljivost v težkih termičnih in kemičnih okoljih postopka izdelave polprevodnikov. Ko se rezine obdelujejo z oksidacijo in difuzijo, so rezine izpostavljene temperaturam, višjim od 1000 stopinj C, pa tudi reaktivnim plinom, kot so kisik, para ali dopantna atmosfera. Pri teh temperaturah bo strukturna celovitost odvisna od čistosti materiala.

Druga pomembna lastnost SiC keramičnih lopatic je njihova odlična zmogljivost pri visokih temperaturah. Zaradi tališča SiC 2700+C, lopatice ohranijo moč in mehansko stabilnost, ko so izpostavljene visokim temperaturam.

temperature skozi čas. Toplotna lastnost omejuje zvijanje in pokanje materiala med ponavljajočimi se cikli segrevanja in hlajenja, hkrati pa zagotavlja dolgo življenjsko dobo v proizvodnih okoljih.

, posebej oblikovana za vzdržljivost v težkih termičnih in kemičnih okoljih postopka izdelave polprevodnikov. Ko se rezine obdelujejo z oksidacijo in difuzijo, so rezine izpostavljene temperaturam, višjim od 1000 stopinj C, pa tudi reaktivnim plinom, kot so kisik, para ali dopantna atmosfera. Pri teh temperaturah bo strukturna celovitost odvisna od čistosti materiala.SiCZaradi lastne trdnosti in togosti imajo dobro nosilnost z minimalnim upogibom, kar je bistvenega pomena za pravilno ravnanje z rezinami in poravnavo. V oksidacijskih in difuzijskih pečeh lahko korozivne atmosfere sčasoma napadejo in razgradijo tradicionalne materiale, vendar ima SiC zmožnost ohranjanja svoje kemične stabilnosti in tako podaljša življenjsko dobo lopatice. Posledica tega so dramatično nižji stroški vzdrževanja in zamenjave, saj lopatic ni treba zamenjati ali popravljati tako pogosto.

Poleg zmogljivosti obstaja prilagodljivost pri prilagajanju vesla za določeno opremo in procese. Mere, tolerance in površinsko obdelavo je mogoče prilagoditi, da se zagotovi prileganje med zasnovami peči in katerim koli drugim sistemom za ravnanje z rezinami. Zmožnost doseganja visoke stopnje dimenzijske natančnosti z natančno strojno obdelavo keramike bo prav tako omogočila izdelavo lopatic, ki ustrezajo kompleksnim geometrijam. Ta celoten nabor funkcij je namenjen zagotavljanju brezhibnega delovanja in enostavne integracije v obstoječe proizvodne linije.

SiC keramikalopatice so s svojo kombinacijo visoke čistosti, toplotne stabilnosti, mehanske trdnosti in kemične odpornosti bistveni materiali v procesih oksidacije in difuzije polprevodnikov. Z zagotavljanjem stabilne, čiste platforme za prenos rezin neposredno prispevajo k izboljšanemu izkoristku, doslednosti postopka in splošni učinkovitosti proizvodnje.