Kot profesionalni proizvajalec bi vam radi ponudili polprevodniške komponente. Semicorex je vaš partner za izboljšanje obdelave polprevodnikov. Naše prevleke iz silicijevega karbida so goste, odporne na visoke temperature in kemikalije, ki se pogosto uporabljajo v celotnem ciklu proizvodnje polprevodnikov, vključno s polprevodniškimi rezinami in obdelavo rezin ter izdelavo polprevodnikov.
Komponente s prevleko iz SiC visoke čistosti so ključne za procese v polprevodnikih. Naša ponudba obsega vse od grafitnih potrošnih materialov za vroče cone za rast kristalov (grelniki, susceptorji lončkov, izolacija) do visoko natančnih grafitnih komponent za opremo za obdelavo rezin, kot so grafitni susceptorji, prevlečeni s silicijevim karbidom, za epitaksijo ali MOCVD.
Prednosti za polprevodniške procese
Faze nanašanja tankega filma, kot je epitaksija ali MOCVD, ali obdelava rezin, kot je jedkanje ali ionski implantat, morajo prestati visoke temperature in ostro kemično čiščenje. Semicorex dobavlja grafitno konstrukcijo, prevlečeno s silicijevim karbidom (SiC) visoke čistosti, ki zagotavlja vrhunsko toplotno odpornost in trajno kemično odpornost, enakomerno toplotno enakomernost za dosledno debelino epi plasti in odpornost.
Pokrovi komor →
Pokrovi komor, ki se uporabljajo pri obdelavi rasti kristalov in ravnanja z rezinami, morajo prenesti visoke temperature in ostro kemično čiščenje.
Končni efektor →
Končni efektor je robotova roka, ki premika polprevodniške rezine med položaji v opremi za obdelavo rezin in nosilcih.
Dovodni obroči →
Dovodni obroč za plin, prevlečen s SiC, z opremo MOCVD Rast spojine ima visoko toplotno in korozijsko odpornost, kar ima veliko stabilnost v ekstremnih okoljih.
Obroč za ostrenje →
Obroč za fokusiranje, prevlečen s silicijevim karbidom, dobavlja Semicorex, ki je resnično stabilen za RTA, RTP ali grobo kemično čiščenje.
Držalo za rezine →
Semicorex ultra-ploske keramične vakuumske vpenjalne glave za rezine so prevlečene s SiC visoke čistosti, ki se uporabljajo v procesu ravnanja z rezinami.
Semicorex Silicon Pedestal Boat je 9N nosilec za rezine ultra visoke čistosti, zasnovan za natančno in stabilno podporo za rezine pri visokotemperaturni oksidaciji, difuziji in LPCVD procesih. Izberite Semicorex za neprimerljivo čistost materiala, natančno obdelavo in dokazano zanesljivost*
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex Silicon Injector je cevasta komponenta ultra visoke čistosti, zasnovana za natančno dovajanje plina brez kontaminacije v postopkih nanašanja polisilicija LPCVD. Izberite Semicorex za najboljšo čistost v industriji, natančno obdelavo in dokazano zanesljivost.*
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex Silicon Wafer Boat je nosilec visoke čistosti, zasnovan za polprevodniške visokotemperaturne peči, ki podpira rezine med procesi oksidacije in redukcije pri 1200–1250 °C. Semicorex zagotavlja vrhunske izdelke, izjemno čisto delovanje in zanesljive rezultate, ki neposredno povečajo izkoristek naprave.*
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex Silicon Shield Ring je silicijeva komponenta visoke čistosti, izdelana za napredne sisteme plazemskega jedkanja, ki služi tako kot zaščitni ščit kot kot pomožna elektroda. Semicorex zagotavlja izjemno čisto delovanje, stabilnost postopka in vrhunske rezultate jedkanja z natančno izdelanimi polprevodniškimi komponentami.*
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex SiC Ceramic Paddle je konzolna komponenta visoke čistosti, zasnovana za polprevodniške visokotemperaturne peči, ki se uporabljajo predvsem v oksidacijskih in difuzijskih procesih. Izbira Semicorexa pomeni pridobitev dostopa do naprednih keramičnih rešitev, ki zagotavljajo izjemno stabilnost, čistočo in vzdržljivost za kritične aplikacije rokovanja z rezinami.*
Preberi večPošlji povpraševanjeDeli Halfmoon, prevlečeni s Semicorex SiC, so natančno izdelane komponente, ki so zasnovane kot bistveni elementi epitaksialne opreme, kjer se dva odseka v obliki polmeseca združita v popoln sklop jedra. Izbira Semicorexa pomeni zagotavljanje zanesljivih, visoko čistih in trajnih rešitev, ki zagotavljajo stabilno podporo za rezine in učinkovito toplotno prevodnost za napredno proizvodnjo polprevodnikov.*
Preberi večPošlji povpraševanje