Silikonski prstani za jedkanje

Silikonski jedkalni obroči so bistvene komponente v komori za plazemsko jedkanje opreme za jedkanje CCP/ICP in so običajno nameščeni okoli polprevodniške rezine. Njihove primarne funkcije so podpora polprevodniški rezini, vzdrževanje enakomerne porazdelitve plazme, zaščita roba rezine in s tem pomoč pri ustvarjanju optimalnih delovnih pogojev za proces plazemskega jedkanja.

Prednosti silikonskih jedkalnih obročev Semicorex

1. Izbira vrhunskega materiala

Semicorex silikonski obroči za jedkanje so izdelani iz skrbno izbranega MCZ visoke čistostimonokristalni silicij, ki ponuja naslednje odlične lastnosti v primerjavi z običajnim CZ monokristalnim silicijem.

Visoka čistost: Čistost je nad 99,9999999 %, kar pomeni, da silikonski prstani za jedkanje Semicorex skoraj ne vsebujejo nečistoč. Ta izjemno visoka čistost se lahko učinkovito izogne ​​motnjam zaradi nečistoč komponent med postopkom jedkanja, s čimer se zagotovi visoka natančnost jedkanja.

Stabilna struktura: MCZ monokristalni silicij ima vrhunsko kristalno strukturo z manj napakami kot običajni CZ monokristalni silicij. Ta stabilna kristalna struktura daje Silicijevim obročkom za jedkanje Semicorex izboljšano korozijsko odpornost na plazemsko korozijo in jim omogoča, da prenesejo težke delovne pogoje jedkanja.

Odlična enotnost upornosti:Semicorex silikonski obroči za jedkanjezagotavljajo izjemno enakomernost odpornosti z RRG < 5 %. Nizka ločljivost (<0,02 Ω·cm), srednja loč. (0,2–25 Ω·cm), visoka ločljivost (>100 Ω·cm). Ta odlična enakomernost upornosti lahko zmanjša neenakomerno porazdelitev plazme, ki jo povzroča previsoka ali nizka upornost, kar prispeva k idealnemu električnemu polju za visoko natančno plazemsko jedkanje.

2. Natančna obdelava in strog nadzor kakovosti

Semicorex se ponaša z izkušeno tehnično ekipo, ki lahko zagotovi prilagojene prilagoditve in tehnične ocene za naše cenjene stranke, prav tako pa je vzpostavila sistematične postopke obdelave in inšpekcijskih pregledov za zagotavljanje kakovosti izdelkov.

Prilagodljive storitve prilagajanja: Semicorex podpira prilagajanje na podlagi risb strank, največji premer silikonskih jedkalnih obročev po meri pa je lahko do 470 mm.

Visokostandardna površinska obdelava: Natančnost poliranja je mogoče strogo nadzorovati znotraj Ra < 0,1 µm, fino brušenje pa doseže površinsko obdelavo Ra > 0,1 µm.

Strog pregled kakovosti: Izvedene bodo meritve dimenzij, testiranje upornosti in vizualni pregled, da se zagotovi, da na silikonskih prstanih za jedkanje ni odrezkov, prask, razpok, madežev in drugih napak.