Čoln iz silikonskih rezin

Semicorex lahko prilagodi strukturo čolna iz silicijevega rezina, vključno z obliko palice za utor, dolžino zoba za utor, obliko, kotom nagiba in skupno nosilnostjo rezine, in ga je mogoče izdelati v skladu z zahtevami kupca. Visokotemperaturni silikonski čolni lahko učinkovito zmanjšajo kontaktne poškodbe silicijevih rezin in izboljšajo izkoristek postopka. Njegova visokotemperaturna zasnova "stolpov brez drsenja" podpira rezine samo na konici podpornega zoba. V primerjavi zsilicijev karbidSilicij nudi dobro stabilnost in mehansko trdnost pri visokih temperaturah, kar omogoča, da čoln zanesljivo služi med ponavljajočimi se cikli peči. Material je odporen na zvijanje med cikli segrevanja in hlajenja in tako ohranja natančno postavitev rezin in toleranco pozicioniranja tudi med hitrimi cikli peči. Ta toplotna robustnost zagotavlja zanesljive rezultate postopka, ki so dovolj dosledni za velikoserijsko proizvodnjo z minimalnimi variacijami med serijami. Silicon Wafer Boat je izdelan z visoko dimenzijsko natančnostjo, da se zagotovi dosledno pozicioniranje in postavitev rezin. Čoln je izdelan z uporabo napredne strojne obdelave in poliranja za ustvarjanje gladkih površin, tesne geometrije in ozkih toleranc.

Semicorex Silicon Wafer Boat je inovativen, namensko zasnovan nosilec za rezine. Ustvarjen je posebej za obdelavo v visokotemperaturnih pečeh, ki se uporabljajo v industriji polprevodnikov, vključno s postopki oksidacije in redukcije pri temperaturah med 1200 in 1250 °C. S prednostmi zmogljivosti, ki niso na voljo v materialu iz silicijevega karbida (SiC), Silicon Wafer Boat zagotavlja prednosti, ki so pomembne za stroge postopke, ki jih zahteva proizvodnja polprevodnikov. Prvič, zelo visoka čistost silicijevega materiala je pomembna; pravzaprav,silikonski materialdosega ravni ultra visoke čistosti nad 9N (99,9999999 %), s čimer zagotavlja, da nobena kovinska ali tuja nečistoča ne bo onesnažila obdelave rezin. To je ključnega pomena za vrhunsko proizvodnjo polprevodniških naprav, kjer na zanesljivost delovanja in izkoristek močno vpliva kontaminacija. Silicon Wafer Boat zagotavlja izjemno čisto okolje z visoko stopnjo čistosti, primerno za najnaprednejše industrijske zahteve za ravnanje z rezinami, ki so izpostavljene zelo visokim temperaturam za oksidacijsko in redukcijsko obdelavo.

Še ena korist odsilikonski materialje njegova nižja trdota v primerjavi z materialom SiC. SiC palice ali čolni so znani po trdoti in trdnosti, vendar lahko prav ta lastnost povzroči težave pri obdelavi rezin. Pri visokih temperaturah se rezine mikro premaknejo; v notranjosti čolna bodo rahlo odskočile, se rahlo premaknile in robovi se bodo zvili. Trši material SiC lahko predstavlja večje tveganje za nastanek delcev ali prask na zadnji strani rezine, saj lastnosti rezine in čolna medsebojno delujejo v teh pogojih obdelave pri visoki temperaturi.

Silicon Wafer Boat ublaži to skrb z izkoriščanjem razmeroma mehkega značaja silicija v primerjavi s SiC. Zmanjšanje trdote omogoča manjše trenje in mehanske obremenitve, ko rezine pridejo v stik s čolnom med termičnimi cikli. Zaradi tega delci nastajajo redkeje in tveganje za praske na zadnji strani je zmanjšano skoraj na nič. Poleg tega Silicon Wafer Boat z zmanjšanjem površinskih napak neposredno izboljša kakovost rešetke in poveča splošno stopnjo kvalifikacije obdelanih rezin. Za polprevodniške tovarne, ki želijo izboljšati izkoristek z največjim nadzorom kakovosti, je zaradi tega stanja zmogljivosti silicijev čoln privlačna možnost.

Silicij nudi dobro stabilnost in mehansko trdnost pri visokih temperaturah, kar omogoča, da čoln zanesljivo služi med ponavljajočimi se cikli peči. Material je odporen na zvijanje med cikli segrevanja in hlajenja in tako ohranja natančno postavitev rezin in toleranco pozicioniranja tudi med hitrimi cikli peči. Ta toplotna robustnost zagotavlja zanesljive rezultate postopka, ki so dovolj dosledni za velikoserijsko proizvodnjo z minimalnimi variacijami med serijami. Silicon Wafer Boat je izdelan z visoko dimenzijsko natančnostjo, da se zagotovi dosledno pozicioniranje in postavitev rezin. Čoln je izdelan z uporabo napredne strojne obdelave in poliranja za ustvarjanje gladkih površin, tesne geometrije in ozkih toleranc.