Silikonski ščitni prstan

Semicorex Silicon Shield Ring je kritična polprevodniška komponenta v procesu jedkanja. Njegova primarna funkcija je, da obda elektrodo in prepreči čezmerno uhajanje plazme. S čistostjo materiala, ki presega 9N (99,9999999 %), je zaščitni prstan mogoče izdelati tako iz enega kot iz več kristalovsilicij, ki zagotavlja izjemno čisto delovanje in zanesljivo združljivost z naprednimi postopki izdelave polprevodnikov.

Natančen nadzor plazme v procesu jedkanja CCP/ICP je bistvenega pomena za učinkovito, enotno hitrost jedkanja in kakovost rezin. Nenadzorovano uhajanje plazme izven želenega območja jedkanja lahko povzroči površinsko erozijo in kontaminacijo ali poškoduje komponente znotraj komore. Silikonski zaščitni obroč je učinkovita in preprosta rešitev tega problema, ustvarjen za oblikovanje zaščitne pregrade na zunanjem obodu elektrode, zadrževanje plazme pred širjenjem izven ciljnega območja in omejevanje jedkanja samo na želeno območje. Silikonski zaščitni obroč deluje tudi kot zunanja elektroda za stabilizacijo porazdelitve plazme in omogoča enakomernejšo energijo na površini rezine.

Toplotne in električne lastnosti silicija dodatno podpirajo delovanje Etching Shield Ring. Njegova odpornost na visoke procesne temperature zagotavlja strukturno celovitost med dolgotrajno izpostavljenostjo plazmi, njegova električna prevodnost pa omogoča, da komponenta pravilno deluje kot element v sistemu elektrod. Te aplikacije skupaj izboljšajo zadrževanje plazme in izboljšajo enotnost energije, kar omogoča ponovljive profile jedkanja po rezinah.

Semicorex Silicon Shield Ring je kritična polprevodniška komponenta v procesu jedkanja. Njegova primarna funkcija je, da obda elektrodo in prepreči čezmerno uhajanje plazme. S čistostjo materiala, ki presega 9N (99,9999999 %), je zaščitni prstan mogoče izdelati tako iz enega kot iz več kristalov

Trajnost in stroškovna učinkovitost sta še dve dragoceni prednosti. Z zaščito nepotrebnih odsekov komore pred plazmo zaščitni obroč zmanjša obrabo drugih kritičnih komponent, kar zmanjša vzdrževalna dela in podaljša celoten čas delovanja. Zaradi dolge življenjske dobe in redkejše menjave je to stroškovno učinkovita rešitev za tovarne polprevodnikov za povečanje produktivnosti in s tem zmanjšanje obratovalnih stroškov.

TheSilicijzaščitni obroč je mogoče prilagoditi tudi za vsako konfiguracijo orodja in specifikacije postopka, saj so na voljo v več velikostih in geometrijah, da se prilagodijo številnim različnim komoram za plazemsko jedkanje, ki jih izdelujejo proizvajalci, pri čemer še vedno dosegajo optimalno prileganje. Poleg tega je mogoče površinsko obdelavo in poliranje uporabiti za dodatno zmanjšanje nastajanja delcev za ultra čiste proizvodne standarde.