Silikonski injektor

Semicorex Silicon Injector je komponenta ultra visoke čistosti, zasnovana za natančno dovajanje plina v sistemih za nanašanje s kemičnim naparjevanjem pri nizkem tlaku (LPCVD) za nanašanje polisilicija in tankih filmov. Izdelan iz 9N (99,9999999%)silicij visoke čistosti, ta fini cevni injektor zagotavlja vrhunsko čistočo, združljivost s kemikalijami in toplotno stabilnost v ekstremnih procesnih pogojih.

Ker se proizvodnja polprevodnikov še naprej razvija k višjim stopnjam integracije in strožjemu nadzoru kontaminacije, bo morala vsaka komponenta za dovajanje plina v komori za nanašanje izpolnjevati višje standarde kot prej. Silicijski injektor Semicorex je bil razvit posebej za te vrste zahtev – dovaja plinaste materiale na stabilen in enoten način po vsej reakcijski komori brez vnosa kontaminacije, ki bi negativno vplivala na kakovost filma ali izkoristek rezin.

Injektor je izdelan iz monokristalnega ali polikristalnega silicija, odvisno od zahtev procesa, material pa je zasnovan tako, da vsebuje malo kovinskih, delcev in ionskih nečistoč. To zagotavlja združljivost z izjemno čistimi pogoji LPCVD, kjer lahko celo kontaminacija v sledovih povzroči okvaro filma ali odpoved naprave. Uporaba silicija kot osnovnega materiala tudi zmanjša neusklajenost materiala med injektorjem in silicijevimi komponentami komore, kar znatno zmanjša tveganje za nastajanje delcev ali kemične reakcije med uporabo in delovanjem pri visokih temperaturah.

Namenska cevasta struktura silicijevega injektorja omogoča nadzorovano in enakomerno porazdelitev plina po enakomerni obremenitvi rezin. Mikroinženirske odprtine in gladka notranja površina zagotavljajo ponovljive stopnje pretoka skupaj z laminarno plinsko dinamiko, ki je ključnega pomena za dosledno debelino filma in stabilne stopnje nanašanja v peči. Ne glede na to, ali gre za silan (SiH₄), diklorosilan (SiH₂Cl₂) ali druge reaktivne pline, injektor ponuja zanesljivo delovanje in natančnost, ki je potrebna za kakovostno rast polisilikonskega filma.

Zaradi odlične toplotne stabilnosti lahko Semicorex Silicon Injector prenese temperature do 1250 °C in ga je mogoče nadzorovati brez strahu pred deformacijami, razpokami ali zvijanjem med več cikli visokotemperaturnega LPCVD. Poleg tega njegova visoka odpornost proti oksidaciji in kemična inertnost zagotavljata dolgo delovanje v oksidacijski, redukcijski ali korozivni atmosferi, hkrati pa zmanjšujeta vzdrževanje in ustvarjata stabilnost postopka.

Vsak injektor je izdelan z najsodobnejšo CNC obdelavo in poliranjem, s čimer se dosežejo submikronske tolerance dimenzij in ultra gladki zaključki na površini. Visokokakovostna površinska obdelava zmanjšuje turbulenco plina in ustvarja zelo malo ali nič delcev, hkrati pa zagotavlja dosledne značilnosti pretoka pri nedoslednih toplotnih in tlačnih spremembah. Natančna proizvodnja zagotavlja natančno nadzorovane procese, ponovljive in zanesljive rezultate ter s tem dosledno delovanje opreme.

Semicorex izdeluje silikonske injektorje po meri, ki so na voljo v dolžinah, premerih in konfiguracijah šob po meri. Prilagojene rešitve je mogoče razviti za izboljšanje vzorcev disperzije plina za enkratne geometrije reaktorjev ali recepte za nanašanje. Vsak injektor je pregledan in preverjen glede čistosti, da zagotovi najvišjo raven kakovosti polprevodnikovsilicijeve komponente.

Semicorex Silicon Injector zagotavlja natančnost in čistost, ki ju zahteva današnja proizvodnja polprevodnikov. Vključitev silicija ultra visoke čistosti 9N, natančnost obdelave na mikronski ravni ter visoka toplotna in kemična stabilnost zagotavljajo enakomerno porazdelitev plina, nižje nastajanje delcev in izjemno zanesljivost pri nanašanju LPCVD polisilicija.