fused quartz

Semicorex Silicon Pedestal Boat je ultra čist nosilec rezin, ki je bil zasnovan z visoko čistostjo in natančnostjo za podporo visokotemperaturnim polprevodniškim postopkom, kot so oksidacija, difuzija in LPCVD (nizkotlačno kemično naparjanje). Ta nosilec rezin je narejen iz 9N (99,9999999%)silicij visoke čistostiza zagotavljanje izjemne čistoče, toplotnega koeficienta stabilnosti raztezanja in mehanske natančnosti za podporo rezin in doslednega nadzora procesa v ultra čistih okoljih.

Ker se geometrije polprevodniških naprav še naprej krčijo, potreba po izjemno čistih in toplotno združljivih komponentah za obdelavo rezin še nikoli ni bila tako velika. Silicon Pedestal Boat izpolnjuje te zahteve z visoko dimenzijsko natančnostjo in neprimerljivo čistostjo za uporabo v naprednih sistemih peči, ki delujejo med 1100 °C in 1250 °C.

Strukturo silicijevega čolna je mogoče prilagoditi tako, da ustreza zahtevam kupcev, vključno z obliko palice za utore, dolžino zoba za utore, obliko, kotom nagiba in skupno zmogljivostjo nalaganja rezin. Visokotemperaturni silikonski čolni lahko učinkovito zmanjšajo kontaktne poškodbe silicijevih rezin in izboljšajo izkoristek postopka. Njegova visokotemperaturna zasnova "stolpov brez drsenja" podpira rezine samo na konici podpornega zoba. V primerjavi s silicijevim karbidom je silicij razmeroma manj trd, kar zmanjšuje mehanske poškodbe rezin, s čimer se izboljša kakovost rešetke in učinkovito zmanjšajo proizvodni stroški.

Čoln s podstavkom je na voljo vmonokristalni ali polikristalni silicijza odpravo nevarnosti kontaminacije, povezane z materiali, ki niso silicijevi. Platforma ima enako kemično sestavo kot aktivno uporabljene rezine, kar zmanjšuje neželene reakcije ali difuzijo ionov med visokotemperaturnimi procesi. Homogenost materiala znatno zmanjša fizično identiteto delcev in kovinskih nečistoč za dosledno visoko kakovost rezin in visok izkoristek naprave skozi ponavljajoče se proizvodne cikle.

Semicorex Silicon Pedestal Boat ima natančno oblikovane reže za rezine v kombinaciji z navpičnimi podpornimi strukturami, ki zagotavljajo, da ostanejo rezine popolnoma poravnane in razporejene med ciklom segrevanja. Njegova dimenzijska stabilnost je izjemna, kar zagotavlja, da se podstavek ne bo zvil, upognil ali premaknil pri ekstremnih temperaturah, kar zagotavlja dobro porazdelitev temperature in plina po vsaki rezini. Ta dimenzijska stabilnost ima takojšen pozitiven učinek na enakomernost debeline filma med oksidacijo in difuzijo ter zagotavlja manjše število napak in boljšo ponovljivost postopka.

Glavna prednost čolna s silikonskim podstavkom so njegove optimizirane mehanske in toplotne lastnosti. Trdota silicija v primerjavi s SiC ali kremenom bo pripomogla k zmanjšanju mikroprask in nastajanja delcev zaradi tresenja rezin ali gibanja med vročo ekspanzijo. To še posebej velja za rezine, občutljive na zadnjo stran, kjer je celovitost površine rezin ključnega pomena za izkoristek in delovanje naprave.

Čoln s podstavkom ima dobro toplotno prevodnost in nizek koeficient toplotnega raztezanja, ki zagotavlja lastnosti prenosa toplote, hkrati pa ohranja obliko in trdnost konstrukcije z več cikli ogrevanja in hlajenja. Robustna zasnova zagotavlja tudi dolgo življenjsko dobo z minimalnimi deformacijami v ekstremnih pogojih peči.

Semicorex ponuja zasnove po meri za različne konfiguracije opreme, vključno s premerom rezin, številom rež, višino podstavka in različicami geometrije. Vsak izdelek je pregledan glede čistosti, dimenzijsko izmerjen in testiran na toplotno prevodnost, vse za izpolnjevanje najvišjih standardov v procesu izdelave polprevodnikov.

Silicon Pedestal Boat je združljiv s procesi oksidacije in difuzije ter z aplikacijami LPCVD in žarjenja, ki zahtevajo neprekosljivo enakomernost temperature in nadzor kontaminacije. Silicon Pedestal Boat je združljiv z drugimi komponentami silicijeve peči, kot so injektorska cev, linijska cev in nosilec rezin, pri čemer ohranja ujemanje materiala in toplote v celotnem sistemu obdelave.