Poli-Si zunanji obroči za jedkanje

Običajno nameščen okoliprhaZunanji obroč iz poli-Si deluje kot povezovalni del med izpušnim obročem in glavo prhe. Deluje v sodelovanju zelektrostatična vpenjalna glava, Si prho, Si fokusni obroč, Si izpušni obroč in Si zaščitni obroč, ki ustvarja stabilno in zanesljivo procesno okolje za visoko natančno jedkanje.

Prednosti zunanjih obročev Semicorex poly-Si za jedkanje

Zunanji obroči Semicorex poly-Si za jedkanje so natančno izdelani iz visokokakovostnega polisilicija, kar zagotavlja naslednje odlične lastnosti.

1. Visoka čistoča in nizka vsebnost delcev

2. Vrhunska odpornost na visoke temperature in visoka odpornost na toplotne šoke

3. Zanesljiva odpornost proti koroziji

4. Izjemna električna zmogljivost in visoka enakomernost električne prevodnosti

Funkcije zunanjih obročev Semicorex poly-Si za jedkanje

1. Stabilna zmogljivost ozemljitve

Zunanji obroči Semicorex poly-Si za jedkanje, ki se uporabljajo za ozemljitev in zaščito elektrod, se lahko izognejo kopičenju statične elektrike in poškodbam obloka ter zagotovijo stabilno delovanje sistema elektrod, kar popolnoma izpolnjuje zahteve procesa za napredno izdelavo 3D NAND.

2. Zanesljiva podpora

Zunanji obroči Semicorex poly-Si za jedkanje služijo kot bistvene komponente, ki povezujejo izpušni obroč in glavo prhe. Zagotavljajo zanesljivo mehansko podporo obema deloma in ju ohranjajo v stabilnem položaju na ustreznem mestu. Poleg tega lahko uporaba zunanjih obročev Semicorex poly-Si za jedkanje prepreči plazemsko erozijo na jedkalni komori, kar tako učinkovito zagotavlja stabilno izvedbo operacije jedkanja.

3. Združljivost s postopkom jedkanja

Zunanji obroči Semicorex poly-Si za jedkanje imajo nizko vsebnost nečistoč in izjemno odpornost proti koroziji, kar zagotavlja odlično združljivost z izdelavo silicijevih rezin, kar močno zmanjša napake rezin, ki jih povzroči kontaminacija z jedkanim stranskim proizvodom, in znatno zagotavlja visoko stopnjo izkoristka pri proizvodnji polprevodnikov.