Držalo za rezine

Držalo za rezine Semicorex je domiselno zasnovano z jedrom iz grafita visoke čistosti in natančno prevlečenim s silicijevim karbidom (SiC), da izpolnjuje zahtevne zahteve opreme za epitaksijo v tekoči fazi (LPE). Njegova konstrukcija in izbira materiala sta absolutno ključna za ohranjanje celovitosti rezin med visokotemperaturnimi procesi, ki so značilni za izdelavo polprevodnikov.

Grafitno držalo za rezine, prevlečeno s SiC, izkazuje izjemno odpornost proti obrabi in trganju, kar je bistvena značilnost za ohranjanje natančnih dimenzij in kakovosti površine, potrebnih za optimalno rokovanje z rezinami. V postopkih LPE je celovitost površine držala za rezine najpomembnejša, saj lahko kakršna koli degradacija ali neenakost povzroči napake v rezinah, kar vodi do nižjih donosov in povečanih odpadkov. Prevleka SiC zagotavlja, da držalo za rezine ohranja gladko in stabilno površino v ponavljajočih se ciklih, kar prispeva k splošni zanesljivosti in doslednosti postopka epitaksije.

Poleg tega prevleka SiC izboljša toplotno učinkovitost držala za rezine. Visoka toplotna prevodnost silicijevega karbida zagotavlja enakomerno porazdelitev toplote po rezini med postopkom epitaksije, kar je ključno za preprečevanje toplotnih gradientov, ki bi lahko povzročili zvijanje ali pokanje rezin. To zagotavlja, da končni izdelki izpolnjujejo stroge standarde kakovosti, ki se zahtevajo v proizvodnji polprevodnikov. Kombinacija inherentnih toplotnih lastnosti grafita z dodatnimi prednostmi prevleke SiC ustvarja držalo za rezine, ki lahko prenese najzahtevnejša toplotna okolja.

Zasnova držala za rezine je optimizirana za uporabo v opremi LPE. Držalo za rezine je natančno strojno obdelano za varno namestitev rezin, kar zmanjšuje tveganje premikanja ali napačne poravnave med postopkom epitaksije. Ta natančnost je ključnega pomena, saj lahko že najmanjši premik v položaju rezin povzroči neenakomerno nanašanje, kar vpliva na delovanje polprevodniških naprav, ki se izdelujejo. Grafitno držalo za rezine, prevlečeno s SiC, zagotavlja potrebno stabilnost in zagotavlja, da rezine ostanejo v pravilnem položaju skozi celoten proces.

                                                        Struktura LEP, iz LPE