Semicorexova grafitna nosilna plošča RTP je popolna rešitev za aplikacije obdelave polprevodniških rezin, vključno z epitaksialno rastjo in obdelavo obdelave rezin. Naš izdelek je zasnovan tako, da nudi vrhunsko toplotno odpornost in toplotno enotnost, kar zagotavlja, da so epitaksijski suceptorji izpostavljeni okolju nanašanja z visoko toplotno in korozijsko odpornostjo.
Naš izdelek vsebuje grafit visoke čistosti, prevlečen s SiC, ki ponuja odlične lastnosti porazdelitve toplote in zagotavlja, da ima nosilec, prevlečen s SiC, gladko površino, brez razpok in razslojevanja. Naša grafitna nosilna plošča RTP je fino prevlečena s silicijevim karbidom, kar zagotavlja, da je površina gladka in brez kakršnih koli napak. Ta izdelek je zelo odporen proti močnemu kemičnemu čiščenju in je zasnovan tako, da preprečuje razpoke in razslojevanje.
Ponujamo cenovno ugodnost, ki ji naši konkurenti niso kos, in zavezani smo, da postanemo vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Z našo grafitno nosilno ploščo RTP ste lahko prepričani v odlično zmogljivost, vrhunsko toplotno odpornost in toplotno enotnost. Nosilec, prevlečen s SiC, je zasnovan tako, da prenese visoke temperature in je zelo odporen na kemično čiščenje, kar zagotavlja dolgo življenjsko dobo. Naš izdelek je zasnovan tako, da je enostaven za uporabo, zaradi česar je idealen tako za nove kot izkušene uporabnike.
Pri Semicorexu smo zavezani k zagotavljanju visokokakovostnih izdelkov in storitev našim strankam. Uporabljamo le najboljše materiale, naši izdelki pa so zasnovani tako, da ustrezajo najvišjim standardom kakovosti in zmogljivosti. Naša grafitna nosilna plošča RTP ni izjema. Pišite nam še danes, če želite izvedeti več o tem, kako vam lahko pomagamo pri vaših potrebah po obdelavi polprevodniških rezin.
Parametri grafitne nosilne plošče RTP
Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC |
||
SiC-CVD lastnosti |
||
Kristalna struktura |
FCC β faza |
|
Gostota |
g/cm³ |
3.21 |
Trdota |
Trdota po Vickersu |
2500 |
Velikost zrn |
μm |
2~10 |
Kemijska čistost |
% |
99.99995 |
Toplotna zmogljivost |
J kg-1 K-1 |
640 |
Temperatura sublimacije |
℃ |
2700 |
Feleksuralna moč |
MPa (RT 4-točkovno) |
415 |
Youngov modul |
Gpa (upogib 4 točke, 1300 ℃) |
430 |
Toplotna ekspanzija (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Toplotna prevodnost |
(W/mK) |
300 |
Lastnosti grafitne nosilne plošče RTP
SiC prevlečen grafit visoke čistosti
Vrhunska toplotna odpornost in toplotna enotnost
Prevleka s finimi kristali SiC za gladko površino
Visoka vzdržljivost proti kemičnemu čiščenju
Material je zasnovan tako, da ne pride do razpok in razslojevanja.