RTP/RTA SiC premazni nosilec

Nosilec prevleke Semicorex RTP/RTA SiC je zasnovan tako, da prenese najtežje pogoje okolja nanašanja. S svojo visoko toplotno in korozijsko odpornostjo je ta izdelek zasnovan tako, da zagotavlja optimalno delovanje za epitaksialno rast. Nosilec, prevlečen s SiC, ima visoko toplotno prevodnost in odlične lastnosti porazdelitve toplote, kar zagotavlja zanesljivo delovanje pri RTA, RTP ali močnem kemičnem čiščenju.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Naš RTP/RTA SiC Coating Carrier za epitaksialno rast MOCVD je odlična rešitev za obdelavo rezin in epitaksialno rast. Ta izdelek z gladko površino in visoko vzdržljivostjo proti kemičnemu čiščenju nudi zanesljivo delovanje v težkih okoljih nanosa.
Material našega nosilca prevleke RTP/RTA SiC je zasnovan tako, da preprečuje razpoke in razslojevanje, medtem ko vrhunska toplotna odpornost in toplotna enotnost zagotavljata dosledno delovanje pri čiščenju RTA, RTP ali močnem kemičnem čiščenju.
Pišite nam še danes, če želite izvedeti več o našem nosilcu premaza RTP/RTA SiC

Parametri RTP/RTA SiC Coating Carrier

Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC
SiC-CVD lastnosti
Kristalna struktura	FCC Î² faza
Gostota	g/cm³	3.21
Trdota	Trdota po Vickersu	2500
Velikost zrn	Î¼m	2~10
Kemijska čistost	%	99.99995
Toplotna zmogljivost	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura sublimacije	℃	2700
Feleksuralna moč	MPa (RT 4-točkovno)	415
Youngov modul	Gpa (upogib 4 točke, 1300 °)	430
Toplotna ekspanzija (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Toplotna prevodnost	(W/mK)	300

Lastnosti RTP/RTA SiC Coating Carrier

SiC prevlečen grafit visoke čistosti
Vrhunska toplotna odpornost in toplotna enotnost
Prevleka s finimi kristali SiC za gladko površino
Visoka vzdržljivost proti kemičnemu čiščenju
Material je zasnovan tako, da ne prihaja do razpok in razslojevanja.