SiC grafitna RTP nosilna plošča za MOCVD

Nosilna plošča Semicorex SiC Graphite RTP za MOCVD ponuja vrhunsko toplotno odpornost in toplotno enakomernost, zaradi česar je popolna rešitev za aplikacije za obdelavo polprevodniških rezin. Z visokokakovostnim grafitom, prevlečenim s SiC, je ta izdelek zasnovan tako, da prenese najtežja okolja nanašanja za epitaksialno rast. Visoka toplotna prevodnost in odlične lastnosti porazdelitve toplote zagotavljajo zanesljivo delovanje pri RTA, RTP ali močnem kemičnem čiščenju.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Naša SiC grafitna nosilna plošča RTP za MOCVD za epitaksialno rast MOCVD je odlična rešitev za obdelavo rezin in epitaksialno rast. Ta izdelek z gladko površino in visoko vzdržljivostjo proti kemičnemu čiščenju zagotavlja zanesljivo delovanje v težkih okoljih nanosa.
Material naše nosilne plošče SiC grafit RTP za MOCVD je zasnovan tako, da preprečuje razpoke in razslojevanje, medtem ko vrhunska toplotna odpornost in toplotna enotnost zagotavljata dosledno delovanje za RTA, RTP ali čiščenje z močnimi kemikalijami.
Pišite nam še danes, če želite izvedeti več o naši nosilni plošči iz SiC grafita RTP za MOCVD.

Parametri nosilne plošče SiC iz grafita RTP za MOCVD

Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC
SiC-CVD lastnosti
Kristalna struktura	FCC β faza
Gostota	g/cm³	3.21
Trdota	Trdota po Vickersu	2500
Velikost zrn	μm	2~10
Kemijska čistost	%	99.99995
Toplotna zmogljivost	J kg-1 K-1	640
Temperatura sublimacije	℃	2700
Feleksuralna moč	MPa (RT 4-točkovno)	415
Youngov modul	Gpa (upogib 4 točke, 1300 ℃)	430
Toplotna ekspanzija (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Toplotna prevodnost	(W/mK)	300

Lastnosti SiC grafitne RTP nosilne plošče za MOCVD

SiC prevlečen grafit visoke čistosti
Vrhunska toplotna odpornost in toplotna enotnost
Prevleka s finimi kristali SiC za gladko površino
Visoka vzdržljivost proti kemičnemu čiščenju
Material je oblikovan tako, da ne pride do razpok in razslojevanja.