Nosilna plošča RTP, prevlečena s SiC za epitaksialno rast

Semicorex SiC prevlečena RTP nosilna plošča za epitaksialno rast je odlična rešitev za aplikacije za obdelavo polprevodniških rezin. Ta izdelek je s svojimi visokokakovostnimi ogljikovimi grafitnimi sprejemniki in kremenčevimi lončki, obdelanimi z MOCVD na površini grafita, keramike itd., idealen za ravnanje z rezinami in obdelavo epitaksialne rasti. Nosilec s prevleko iz SiC zagotavlja visoko toplotno prevodnost in odlične lastnosti porazdelitve toplote, zaradi česar je zanesljiva izbira za RTA, RTP ali grobo kemično čiščenje.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Naša nosilna plošča RTP s prevleko iz SiC za epitaksialno rast je zasnovana tako, da prenese najtežje pogoje okolja nanašanja. S svojo visoko toplotno in korozijsko odpornostjo so susceptorji za epitaksijo izpostavljeni popolnemu okolju za nanašanje za epitaksialno rast. Fina prevleka iz kristalov SiC na nosilcu zagotavlja gladko površino in visoko vzdržljivost pred kemičnim čiščenjem, medtem ko je material zasnovan tako, da preprečuje razpoke in razslojevanje.
Pišite nam še danes, če želite izvedeti več o naši nosilni plošči RTP s prevleko iz SiC za epitaksialno rast.

Parametri nosilne plošče RTP, prevlečene s SiC, za epitaksialno rast

Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC
SiC-CVD lastnosti
Kristalna struktura	FCC Î² faza
Gostota	g/cm³	3.21
Trdota	Trdota po Vickersu	2500
Velikost zrn	Î¼m	2~10
Kemijska čistost	%	99.99995
Toplotna zmogljivost	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura sublimacije	℃	2700
Feleksuralna moč	MPa (RT 4-točkovno)	415
Youngov modul	Gpa (upogib 4 točke, 1300 °)	430
Toplotna ekspanzija (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Toplotna prevodnost	(W/mK)	300

Značilnosti nosilne plošče RTP s prevleko iz SiC za epitaksialno rast

SiC prevlečen grafit visoke čistosti
Vrhunska toplotna odpornost in toplotna enotnost
Prevleka s finimi kristali SiC za gladko površino
Visoka vzdržljivost proti kemičnemu čiščenju
Material je zasnovan tako, da ne prihaja do razpok in razslojevanja.

Hot Tags: Nosilna plošča RTP s prevleko iz SiC za epitaksialno rast, Kitajska, proizvajalci, dobavitelji, tovarna, po meri, razsuto, napredno, vzdržljivo