Nosilec Semicorex RTP je prevlečen s silicijevim karbidom s postopkom kemičnega naparjevanja (CVD), ki je resnično stabilen za RTA, RTP ali grobo kemično čiščenje. V jedru polprevodniškega procesa so epitaksijski suceptorji najprej izpostavljeni okolju za nanašanje, zato ima visoko toplotno in korozijsko odpornost. Nosilec, prevlečen s SiC, ima tudi visoko toplotno prevodnost in odlične lastnosti porazdelitve toplote.
â SiC prevlečen grafit visoke čistosti
â Vrhunska toplotna in kemična odpornost
â Visoka toplotna enakomernost
â Odlična odpornost proti obrabi
Semicorex RTP Carrier for MOCVD Epitaxial Growth je idealen za aplikacije obdelave polprevodniških rezin, vključno z epitaksialno rastjo in obdelavo obdelave rezin. Ogljikovi grafitni sprejemniki in kremenčevi lončki so obdelani z MOCVD na površini grafita, keramike itd. Naši izdelki imajo dobro cenovno ugodnost in pokrivajo številne evropske in ameriške trge. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanje