Rezin roba mlet chuck

Chuck za brušenje polprevodnic Semicorex je namenski keramični del, narejen za postopek brušenja robov rezin med proizvodnjo polprevodnikov. Keramika je narejena iz visoke čistosti, bele glinice (al₂o₃) z mehansko trdnostjo, kemično odpornostjo in dimenzijsko stabilnostjo za podporo postopku brušenja rezin. Ker nove tehnologije zahtevajo večje premere rezin in bolj občutljive strukture v napravah, ima mlet z robom rezine pomembno vlogo pri preprečevanju robov, mikro stiskanja in donosa. Alumina keramično brušenje Chuck zagotavlja stalno osnovno črto, na kateri izpolnjuje te stroge proizvodne zahteve.

Alumina keramikase uporablja kot material konstrukcije zaradi svojih neverjetnih fizičnih, kemičnih in toplotnih lastnosti. Bela alumina ima izjemno trdoto le z diamantom, ki se uvršča višje na lestvici trdote MOHS, kar omogoča, da Chuck zdrži obrabo in abrazijo v dogledno prihodnost s ponavljajočo se rabo. Glede na veliko mehansko trdnost glinice je mogoče rezine varno oprijeti in držati, medtem ko togost glinice ne omogoča izkrivljanja ali deformacije, kadar se na del uporabi obremenitev. Glede na to je glinica odlična izbira za izdelavo napeljav in podpore, kjer sta potrebna natančnost in trajnost.

Toplotna stabilnost je tudi značilna lastnost keramike iz alumina. Z tališčem, večjo od 2000 ° C, in toplotnim udarnim stabilnosti, lahko Chuck deluje v pogojih, kjer se lahko zgodi trenje segrevanja ali temperaturne spremembe, je dosledno w.r.t, kjer je dimenzijska stabilnost kritična, čeprav lahko brusilna oblika roba nekoliko spremeni dimenzijo. Sila vpenjanja ostaja močna za dosledno vzdrževanje poravnave pri brušenju na robu. Nizka toplotna prevodnost glinice ne bi smela omogočiti lokaliziranega ogrevanja, da bi segrevali rezino dovolj za kakršen koli kompromis celovitosti rezin pri obdelavi občutljivih podstavkov polprevodnikov.

S kemijske perspektive ima alumina keramika malo reakcije na kisline, alkalije in plazemsko okolje polprevodniške predelave. Za razliko od kovinskih chucksov, ki lahko korodirajo ali polimerne napeljave, ki se lahko še naprej razgradijo brez izrecnega spremljanja, je alumina keramika imuna na te vsakodnevne cikle servis pri predelavi polprevodnikov. Ta inertnost bo zagotovila ničelno kontaminacijo površine rezin in ohranila čistost postopka, hkrati pa omejila izgubo pridelka.

V današnji pokrajini za proizvodnjo polprevodnikov je postopek mletil z robom večplasten: pripravlja rezine za nadaljnjo obdelavo in omogoča tudi varen prevoz, ravnanje in integracijo v najnaprednejša orodja za litografijo in jedkanje. Pri tem je Chuck za brušenje rezin pomemben del sestavljanke, da varno pritrdimo rezino, natančno drži, in neposredno prispeva k zanesljivosti rezin in zmogljivosti izdelka. Z naložbo v aluminino keramiko se čas prihrani tako, da ima podaljšano dolgo življenjsko dobo takšnega premoženja za omejitev izpadov, zmanjšanje stroškov delov in povečanje učinkovitosti opreme (OEE).

Chuck, ki je narejen iz roba rezineAlumina keramikapredstavlja vse prednosti prefinjene materialne znanosti in natančnega inženiringa. Pojavlja lastnosti trdote, odpornosti na obrabo, toplotno stabilnost in kemično inersoto, potrebno za postopek izdelave polprevodniških rezin. Močna zmogljivost lahko privede do zanesljive kakovosti robov, dobrega donosa in podaljšane življenjske dobe opreme. Za polprevodniške proizvajalce, ki so se zavezali brezhibne natančnosti in učinkovitosti, je rešitev za brušenje robov aluminalne rezine.