Silicijevi epitaksijski sprejemniki

Lahko ste prepričani, da v naši tovarni kupite silicijeve epitaksijske prijemnike. Semicorexov Silicon Epitaxy Susceptor je visokokakovosten izdelek visoke čistosti, ki se uporablja v industriji polprevodnikov za epitaksialno rast rezinskega čipa. Naš izdelek ima vrhunsko tehnologijo premazovanja, ki zagotavlja, da je premaz prisoten na vseh površinah in preprečuje luščenje. Izdelek je stabilen pri visokih temperaturah do 1600°C, zaradi česar je primeren za uporabo v ekstremnih okoljih.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Naši silicijevi epitaksijski susceptorji so izdelani s CVD kemičnim nanašanjem iz pare v pogojih visokotemperaturnega kloriranja, kar zagotavlja visoko čistost. Površina izdelka je gosta, z drobnimi delci in visoko trdoto, zaradi česar je odporen proti koroziji na kisline, alkalije, soli in organske reagente.
Naš izdelek je zasnovan za doseganje najboljšega laminarnega vzorca pretoka plina, ki zagotavlja enakomeren toplotni profil. Naši silicijevi epitaksijski sprejemniki preprečujejo kakršno koli kontaminacijo ali difuzijo nečistoč med postopkom epitaksialne rasti, kar zagotavlja visokokakovostne rezultate.
Pri Semicorexu se osredotočamo na zagotavljanje visokokakovostnih in stroškovno učinkovitih izdelkov našim strankam. Naši silicijevi epitaksijski sprejemniki imajo cenovno ugodnost in se izvažajo na številne evropske in ameriške trge. Naš cilj je biti vaš dolgoročni partner, ki zagotavlja stalno kakovost izdelkov in izjemne storitve za stranke.

Parametri silicijevih epitaksijskih susceptorjev

Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC
SiC-CVD lastnosti
Kristalna struktura	FCC Î² faza
Gostota	g/cm³	3.21
Trdota	Trdota po Vickersu	2500
Velikost zrn	Î¼m	2~10
Kemijska čistost	%	99.99995
Toplotna zmogljivost	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura sublimacije	℃	2700
Feleksuralna moč	MPa (RT 4-točkovno)	415
Youngov modul	Gpa (upogib 4 točke, 1300 °)	430
Toplotna ekspanzija (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Toplotna prevodnost	(W/mK)	300

Parametri silicijevih epitaksijskih susceptorjev

- Izogibajte se luščenju in zagotovite premaz na vsej površini
Odpornost proti oksidaciji pri visokih temperaturah: Stabilen pri visokih temperaturah do 1600°C
Visoka čistost: narejeno s CVD kemičnim nanašanjem iz pare v pogojih visokotemperaturnega kloriranja.
Odpornost proti koroziji: visoka trdota, gosta površina in drobni delci.
Odpornost proti koroziji: kisline, alkalije, sol in organski reagenti.
- Doseči najboljši vzorec laminarnega toka plina
- Zagotovljena enakomernost toplotnega profila
- Preprečite kakršno koli kontaminacijo ali difuzijo nečistoč