SiC prevlečeni nosilci plošč za MOCVD

Semicorex SiC Coated Plate Carriers for MOCVD je visokokakovosten nosilec, zasnovan za uporabo v procesu izdelave polprevodnikov. Zaradi visoke čistosti, odlične odpornosti proti koroziji in enakomernega toplotnega profila je odlična izbira za tiste, ki iščejo nosilec, ki lahko prenese zahteve procesa izdelave polprevodnikov.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Naši nosilci plošč s prevleko iz SiC za MOCVD se ponašajo z visoko čistostjo, zaradi česar so odlična izbira za tiste, ki iščejo nosilec, ki je zelo enakomeren in dosleden v svojih lastnostih.
Naši nosilci plošč, prevlečeni s SiC, za MOCVD, izdelani s prevleko iz silicijevega karbida visoke čistosti na grafitu, zaradi česar so zelo odporni proti oksidaciji pri visokih temperaturah do 1600 °C. Postopek kemičnega naparjevanja CVD, uporabljen pri izdelavi, zagotavlja visoko čistost in odlično odpornost proti koroziji. Je zelo odporen proti koroziji, z gosto površino in drobnimi delci, zaradi česar je odporen na kisline, alkalije, soli in organske reagente. Njegova visokotemperaturna odpornost na oksidacijo zagotavlja stabilnost pri visokih temperaturah do 1600°C.

Parametri ploščnih nosilcev s prevleko iz SiC za MOCVD

Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC
SiC-CVD lastnosti
Kristalna struktura	FCC β faza
Gostota	g/cm³	3.21
Trdota	Trdota po Vickersu	2500
Velikost zrn	μm	2~10
Kemijska čistost	%	99.99995
Toplotna zmogljivost	J kg-1 K-1	640
Temperatura sublimacije	℃	2700
Feleksuralna moč	MPa (RT 4-točkovno)	415
Youngov modul	Gpa (upogib 4 točke, 1300 ℃)	430
Toplotna ekspanzija (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Toplotna prevodnost	(W/mK)	300

Značilnosti grafitnega susceptorja s prevleko iz SiC za MOCVD

- Izogibajte se luščenju in zagotovite premaz na vsej površini
Odpornost proti oksidaciji pri visokih temperaturah: Stabilen pri visokih temperaturah do 1600°C
Visoka čistost: narejeno s CVD kemičnim nanašanjem iz pare v pogojih visokotemperaturnega kloriranja.
Odpornost proti koroziji: visoka trdota, gosta površina in drobni delci.
Odpornost proti koroziji: kisline, alkalije, sol in organski reagenti.
- Doseči najboljši vzorec laminarnega toka plina
- Zagotovljena enakomernost toplotnega profila
- Preprečite kakršno koli kontaminacijo ali difuzijo nečistoč