MOCVD Planet Susceptor za polprevodnike

Semicorex je zaupanja vredno ime v industriji polprevodnikov, ki zagotavlja visokokakovosten MOCVD Planet Susceptor for Semiconductor. Naš izdelek je zasnovan tako, da izpolnjuje posebne potrebe proizvajalcev polprevodnikov, ki iščejo nosilec, ki lahko zagotovi odlično zmogljivost, stabilnost in vzdržljivost. Pišite nam še danes, če želite izvedeti več o našem izdelku in kako vam lahko pomagamo pri vaših potrebah po proizvodnji polprevodnikov.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Naš MOCVD Planet Susceptor za polprevodnike je odporen proti oksidaciji pri visokih temperaturah, kar zagotavlja njegovo stabilnost pri visokih temperaturah do 1600 °C. Je tudi zelo čist, izdelan s CVD kemičnim nanašanjem iz pare v pogojih visokotemperaturnega kloriranja, kar zagotavlja enakomernost in konsistenco izdelka, enakomeren termični profil in laminarni vzorec toka plina.
Pišite nam še danes, če želite izvedeti več o našem MOCVD Planet Susceptor for Semiconductor.

Parametri MOCVD Planet Susceptor for Semiconductor

Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC
SiC-CVD lastnosti
Kristalna struktura	FCC Î² faza
Gostota	g/cm³	3.21
Trdota	Trdota po Vickersu	2500
Velikost zrn	Î¼m	2~10
Kemijska čistost	%	99.99995
Toplotna zmogljivost	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura sublimacije	℃	2700
Feleksuralna moč	MPa (RT 4-točkovno)	415
Youngov modul	Gpa (upogib 4 točke, 1300 °)	430
Toplotna ekspanzija (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Toplotna prevodnost	(W/mK)	300

Značilnosti grafitnega susceptorja s prevleko iz SiC za MOCVD

- Izogibajte se luščenju in zagotovite premaz na vsej površini
Odpornost proti oksidaciji pri visokih temperaturah: Stabilen pri visokih temperaturah do 1600°C
Visoka čistost: narejeno s CVD kemičnim nanašanjem iz pare v pogojih visokotemperaturnega kloriranja.
Odpornost proti koroziji: visoka trdota, gosta površina in drobni delci.
Odpornost proti koroziji: kisline, alkalije, sol in organski reagenti.
- Doseči najboljši vzorec laminarnega toka plina
- Zagotovljena enakomernost toplotnega profila
- Preprečite kakršno koli kontaminacijo ali difuzijo nečistoč