Nosilec polprevodniških rezin za opremo MOCVD

Lahko ste prepričani, da kupite nosilec polprevodniških rezin za opremo MOCVD v naši tovarni. Nosilci polprevodniških rezin so bistveni sestavni del opreme MOCVD. Uporabljajo se za transport in zaščito polprevodniških rezin med proizvodnim procesom. Nosilci polprevodniških rezin za opremo MOCVD so izdelani iz materialov visoke čistosti in zasnovani tako, da ohranjajo celovitost rezin med obdelavo.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

naš nosilec polprevodniških rezin za opremo MOCVD je bistven sestavni del procesa izdelave polprevodnikov. Izdelan je iz grafita visoke čistosti s prevleko iz silicijevega karbida po metodi CVD in je zasnovan za namestitev več rezin. Nosilec nudi številne prednosti, vključno z izboljšanim donosom, povečano produktivnostjo, zmanjšano kontaminacijo, večjo varnostjo in stroškovno učinkovitostjo. Če iščete zanesljiv in visokokakovosten nosilec polprevodniških rezin za opremo MOCVD, je naš izdelek odlična rešitev.
Pišite nam še danes, če želite izvedeti več o našem nosilcu polprevodniških rezin za opremo MOCVD.

Parametri polprevodniškega nosilca rezin za opremo MOCVD

Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC
SiC-CVD lastnosti
Kristalna struktura	FCC Î² faza
Gostota	g/cm³	3.21
Trdota	Trdota po Vickersu	2500
Velikost zrn	Î¼m	2~10
Kemijska čistost	%	99.99995
Toplotna zmogljivost	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura sublimacije	℃	2700
Feleksuralna moč	MPa (RT 4-točkovno)	415
Youngov modul	Gpa (upogib 4 točke, 1300 °)	430
Toplotna ekspanzija (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Toplotna prevodnost	(W/mK)	300

Značilnosti grafitnega susceptorja s prevleko iz SiC za MOCVD

- Izogibajte se luščenju in zagotovite premaz na vsej površini
Odpornost proti oksidaciji pri visokih temperaturah: Stabilen pri visokih temperaturah do 1600°C
Visoka čistost: narejeno s CVD kemičnim nanašanjem iz pare v pogojih visokotemperaturnega kloriranja.
Odpornost proti koroziji: visoka trdota, gosta površina in drobni delci.
Odpornost proti koroziji: kisline, alkalije, sol in organski reagenti.
- Doseči najboljši vzorec laminarnega toka plina
- Zagotovljena enakomernost toplotnega profila
- Preprečite kakršno koli kontaminacijo ali difuzijo nečistoč