Izdelki

Ko gre za postopke ravnanja z rezinami, kot sta epitaksija in MOCVD, je Semicorexov visokotemperaturni SiC premaz za komore s plazemskim jedkanjem najboljša izbira. Naši nosilci zagotavljajo vrhunsko toplotno odpornost, enakomerno toplotno enakomernost in trajno kemično odpornost zahvaljujoč naši fini kristalni prevleki SiC.

Semicorexov pladenj za plazemsko jedkanje ICP je zasnovan posebej za postopke obdelave rezin pri visokih temperaturah, kot sta epitaksija in MOCVD. S stabilno visokotemperaturno odpornostjo proti oksidaciji do 1600 °C naši nosilci zagotavljajo enakomerne toplotne profile, vzorce laminarnega toka plina in preprečujejo kontaminacijo ali difuzijo nečistoč.

Semicorexov nosilec s prevleko iz SiC za sistem plazemskega jedkanja ICP je zanesljiva in stroškovno učinkovita rešitev za postopke obdelave rezin pri visokih temperaturah, kot sta epitaksija in MOCVD. Naši nosilci imajo fino prevleko iz kristalov SiC, ki zagotavlja vrhunsko toplotno odpornost, enakomerno toplotno enotnost in trajno kemično odpornost.

Semicorexov susceptor, prevlečen s silicijevim karbidom, za induktivno sklopljeno plazmo (ICP) je zasnovan posebej za postopke obdelave rezin pri visokih temperaturah, kot sta epitaksija in MOCVD. S stabilno visokotemperaturno odpornostjo proti oksidaciji do 1600 °C naši nosilci zagotavljajo enakomerne toplotne profile, laminarne vzorce pretoka plina in preprečujejo kontaminacijo ali difuzijo nečistoč.

Semicorexov nosilec rezin za jedkanje ICP je popolna rešitev za postopke obdelave rezin pri visokih temperaturah, kot sta epitaksija in MOCVD. S stabilno visokotemperaturno odpornostjo proti oksidaciji do 1600 °C naši nosilci zagotavljajo enakomerne toplotne profile, laminarne vzorce pretoka plina in preprečujejo kontaminacijo ali difuzijo nečistoč.

Semicorexova nosilna plošča ICP za jedkanje je popolna rešitev za zahtevno rokovanje z rezinami in postopke nanašanja tankega filma. Naš izdelek zagotavlja vrhunsko toplotno in korozijsko odpornost, enakomerno toplotno enotnost in laminarne vzorce toka plina. S čisto in gladko površino je naš nosilec popoln za rokovanje z neokrnjenimi rezinami.