- English
- Español
- Português
- русский
- Français
- 日本語
- Deutsch
- tiếng Việt
- Italiano
- Nederlands
- ภาษาไทย
- Polski
- 한국어
- Svenska
- magyar
- Malay
- বাংলা ভাষার
- Dansk
- Suomi
- हिन्दी
- Pilipino
- Türkçe
- Gaeilge
- العربية
- Indonesia
- Norsk
- تمل
- český
- ελληνικά
- український
- Javanese
- فارسی
- தமிழ்
- తెలుగు
- नेपाली
- Burmese
- български
- ລາວ
- Latine
- Қазақша
- Euskal
- Azərbaycan
- Slovenský jazyk
- Македонски
- Lietuvos
- Eesti Keel
- Română
- Slovenski
- मराठी
- Srpski језик
domov
>
Izdelki > Prevlečen s silicijevim karbidom > Nosilec za jedkanje ICP > Sistem za plazemsko jedkanje ICP
Sistem za plazemsko jedkanje ICP
Semicorexov nosilec s prevleko iz SiC za sistem plazemskega jedkanja ICP je zanesljiva in stroškovno učinkovita rešitev za postopke obdelave rezin pri visokih temperaturah, kot sta epitaksija in MOCVD. Naši nosilci imajo fino prevleko iz kristalov SiC, ki zagotavlja vrhunsko toplotno odpornost, enakomerno toplotno enotnost in trajno kemično odpornost.
Pošlji povpraševanje
Opis izdelka
Dosezite najvišjo kakovost epitaksije in MOCVD postopkov s Semicorexovim nosilcem s prevleko iz SiC za sistem plazemskega jedkanja ICP. Naš izdelek je zasnovan posebej za te postopke in nudi vrhunsko odpornost na vročino in korozijo. Naša fina prevleka iz kristalov SiC zagotavlja čisto in gladko površino, kar omogoča optimalno rokovanje z rezinami.
Pišite nam še danes, če želite izvedeti več o našem nosilcu s prevleko iz SiC za sistem plazemskega jedkanja ICP.
Parametri nosilca s prevleko iz SiC za sistem plazemskega jedkanja ICP
|
Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC |
||
|
SiC-CVD lastnosti |
||
|
Kristalna struktura |
FCC β faza |
|
|
Gostota |
g/cm³ |
3.21 |
|
Trdota |
Trdota po Vickersu |
2500 |
|
Velikost zrn |
μm |
2~10 |
|
Kemijska čistost |
% |
99.99995 |
|
Toplotna zmogljivost |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
|
Temperatura sublimacije |
℃ |
2700 |
|
Feleksuralna moč |
MPa (RT 4-točkovno) |
415 |
|
Youngov modul |
Gpa (upogib 4 točke, 1300 °) |
430 |
|
Toplotna ekspanzija (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
|
Toplotna prevodnost |
(W/mK) |
300 |
Značilnosti nosilca s prevleko iz SiC za sistem plazemskega jedkanja ICP
- Izogibajte se luščenju in zagotovite premaz na vsej površini
Odpornost proti oksidaciji pri visokih temperaturah: Stabilen pri visokih temperaturah do 1600°C
Visoka čistost: narejeno s CVD kemičnim nanašanjem iz pare v pogojih visokotemperaturnega kloriranja.
Odpornost proti koroziji: visoka trdota, gosta površina in drobni delci.
Odpornost proti koroziji: kisline, alkalije, sol in organski reagenti.
- Doseči najboljši vzorec laminarnega toka plina
- Zagotovljena enakomernost toplotnega profila
- Preprečite kakršno koli kontaminacijo ali difuzijo nečistoč
Hot Tags: Sistem za plazemsko jedkanje ICP, Kitajska, proizvajalci, dobavitelji, tovarna, po meri, množično, napredno, vzdržljivo
Oznaka izdelka
Povezana kategorija
Barrel Suceptor
Nosilec za jedkanje PSS
Nosilec za jedkanje ICP
Nosilec RTP
MOCVD susceptor
Monokristalni silicij
LED epitaksialni susceptor
SiC epitaksija
Epitaksija GaN na SiC
Grelec za rezine
Pancake Susceptor
Si Epitaksija
Fotovoltaični deli
Pošlji povpraševanje
Prosimo, oddajte svoje povpraševanje v spodnjem obrazcu. Odgovorili vam bomo v 24 urah.
