Pladenj za plazemsko jedkanje ICP

Semicorexov pladenj za plazemsko jedkanje ICP je zasnovan posebej za postopke obdelave rezin pri visokih temperaturah, kot sta epitaksija in MOCVD. S stabilno visokotemperaturno odpornostjo proti oksidaciji do 1600 °C naši nosilci zagotavljajo enakomerne toplotne profile, vzorce laminarnega toka plina in preprečujejo kontaminacijo ali difuzijo nečistoč.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Naš pladenj za plazemsko jedkanje ICP je prevlečen s silicijevim karbidom po metodi CVD, kar je idealna rešitev za postopke ravnanja z rezinami, ki zahtevajo visokotemperaturno in močno kemično čiščenje. Semicorexovi nosilci imajo fino prevleko iz kristalov SiC, ki zagotavlja enakomerne toplotne profile, vzorce laminarnega toka plina in preprečuje kontaminacijo ali difuzijo nečistoč.
Pri Semicorexu se osredotočamo na zagotavljanje visokokakovostnih in stroškovno učinkovitih izdelkov našim strankam. Naš pladenj za plazemsko jedkanje ICP ima ugodno ceno in se izvaža na številne evropske in ameriške trge. Naš cilj je biti vaš dolgoročni partner, ki zagotavlja stalno kakovost izdelkov in izjemne storitve za stranke.
Pišite nam še danes, če želite izvedeti več o našem pladnju za plazemsko jedkanje ICP.

Parametri pladnja za plazemsko jedkanje ICP

Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC
SiC-CVD lastnosti
Kristalna struktura	FCC β faza
Gostota	g/cm³	3.21
Trdota	Trdota po Vickersu	2500
Velikost zrn	μm	2~10
Kemijska čistost	%	99.99995
Toplotna zmogljivost	J kg-1 K-1	640
Temperatura sublimacije	℃	2700
Feleksuralna moč	MPa (RT 4-točkovno)	415
Youngov modul	Gpa (upogib 4 točke, 1300 ℃)	430
Toplotna ekspanzija (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Toplotna prevodnost	(W/mK)	300