Nosilna plošča za jedkanje ICP

Semicorexova nosilna plošča ICP za jedkanje je popolna rešitev za zahtevno rokovanje z rezinami in postopke nanašanja tankega filma. Naš izdelek zagotavlja vrhunsko toplotno in korozijsko odpornost, enakomerno toplotno enotnost in laminarne vzorce toka plina. S čisto in gladko površino je naš nosilec popoln za rokovanje z neokrnjenimi rezinami.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Semicorexova nosilna plošča ICP za jedkanje zagotavlja odlično vzdržljivost in dolgo življenjsko dobo za obdelavo rezin in postopke nanašanja tankih filmov. Naš izdelek se ponaša z vrhunsko odpornostjo na vročino in korozijo, enakomerno toplotno enotnostjo in laminarnimi vzorci pretoka plina. S čisto in gladko površino zagotavlja naš nosilec optimalno rokovanje z neokrnjenimi rezinami. Odstranite visoko temperaturo, kemično čiščenje in visoko toplotno enakomernost.
Pišite nam še danes, če želite izvedeti več o naši nosilni plošči za jedkanje ICP.

Parametri nosilne plošče za jedkanje ICP

Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC
SiC-CVD lastnosti
Kristalna struktura	FCC β faza
Gostota	g/cm³	3.21
Trdota	Trdota po Vickersu	2500
Velikost zrn	μm	2~10
Kemijska čistost	%	99.99995
Toplotna zmogljivost	J kg-1 K-1	640
Temperatura sublimacije	℃	2700
Feleksuralna moč	MPa (RT 4-točkovno)	415
Youngov modul	Gpa (upogib 4 točke, 1300 ℃)	430
Toplotna ekspanzija (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Toplotna prevodnost	(W/mK)	300