Visokotemperaturna prevleka SiC za komore za plazemsko jedkanje

Ko gre za postopke ravnanja z rezinami, kot sta epitaksija in MOCVD, je Semicorexov visokotemperaturni SiC premaz za komore s plazemskim jedkanjem najboljša izbira. Naši nosilci zagotavljajo vrhunsko toplotno odpornost, enakomerno toplotno enotnost in trajno kemično odpornost zahvaljujoč naši fini kristalni prevleki SiC.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Pri Semicorexu se zavedamo pomena visokokakovostne opreme za ravnanje z rezinami. Zato je naša visokotemperaturna prevleka SiC za komore za plazemsko jedkanje zasnovana posebej za visokotemperaturna in ostra okolja kemičnega čiščenja. Naši nosilci zagotavljajo enakomerne toplotne profile, laminarne vzorce toka plina in preprečujejo kontaminacijo ali difuzijo nečistoč.
Pišite nam še danes, če želite izvedeti več o našem visokotemperaturnem premazu SiC za komore za plazemsko jedkanje.

Parametri visokotemperaturne SiC prevleke za komore za plazemsko jedkanje

Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC
SiC-CVD lastnosti
Kristalna struktura	FCC Î² faza
Gostota	g/cm³	3.21
Trdota	Trdota po Vickersu	2500
Velikost zrn	Î¼m	2~10
Kemijska čistost	%	99.99995
Toplotna zmogljivost	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura sublimacije	℃	2700
Feleksuralna moč	MPa (RT 4-točkovno)	415
Youngov modul	Gpa (upogib 4 točke, 1300 °)	430
Toplotna ekspanzija (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Toplotna prevodnost	(W/mK)	300

Značilnosti visokotemperaturne prevleke iz SiC za komore za plazemsko jedkanje

- Izogibajte se luščenju in zagotovite premaz na vsej površini

Odpornost proti oksidaciji pri visokih temperaturah: Stabilen pri visokih temperaturah do 1600°C

Visoka čistost: narejeno s CVD kemičnim nanašanjem iz pare v pogojih visokotemperaturnega kloriranja.

Odpornost proti koroziji: visoka trdota, gosta površina in drobni delci.

Odpornost proti koroziji: kisline, alkalije, sol in organski reagenti.

- Doseči najboljši vzorec laminarnega toka plina

- Zagotovljena enakomernost toplotnega profila

- Preprečite kakršno koli kontaminacijo ali difuzijo nečistoč

Hot Tags: Visokotemperaturna SiC prevleka za komore za plazemsko jedkanje, Kitajska, proizvajalci, dobavitelji, tovarna, po meri, v razsutem stanju, napredna, vzdržljiva