Prevleka SiC je tanka plast na suceptorju s postopkom kemičnega naparjevanja (CVD). Material iz silicijevega karbida nudi številne prednosti pred silicijem, vključno z 10-kratno prebojno električno poljsko jakostjo, 3-kratno širino pasovne vrzeli, kar zagotavlja materialu visoko temperaturno in kemično odpornost, odlično odpornost proti obrabi in toplotno prevodnost.
Semicorex zagotavlja prilagojene storitve, vam pomaga pri inovacijah s komponentami, ki trajajo dlje, skrajšajo čase ciklov in izboljšajo donose.
Prevleka SiC ima več edinstvenih prednosti
Odpornost na visoke temperature: suceptor, prevlečen s CVD SiC, lahko prenese visoke temperature do 1600 °C, ne da bi bil podvržen občutni toplotni razgradnji.
Odpornost na kemikalije: Prevleka iz silicijevega karbida zagotavlja odlično odpornost na široko paleto kemikalij, vključno s kislinami, alkalijami in organskimi topili.
Odpornost proti obrabi: prevleka SiC zagotavlja materialu odlično odpornost proti obrabi, zaradi česar je primeren za aplikacije, ki vključujejo visoko obrabo.
Toplotna prevodnost: prevleka CVD SiC zagotavlja materialu visoko toplotno prevodnost, zaradi česar je primeren za uporabo pri visokotemperaturnih aplikacijah, ki zahtevajo učinkovit prenos toplote.
Visoka trdnost in togost: Suceptor, prevlečen s silicijevim karbidom, zagotavlja materialu visoko trdnost in togost, zaradi česar je primeren za aplikacije, ki zahtevajo visoko mehansko trdnost.
Prevleka SiC se uporablja v različnih aplikacijah
Izdelava LED: CVD SiC prevlečen suceptor se zaradi svoje visoke toplotne prevodnosti in kemične odpornosti uporablja pri izdelavi različnih vrst LED, vključno z modro in zeleno LED, UV LED in globoko UV LED.
Mobilna komunikacija: CVD SiC prevlečen suceptor je ključni del HEMT za dokončanje epitaksialnega postopka GaN-on-SiC.
Obdelava polprevodnikov: CVD SiC prevlečen suceptor se uporablja v industriji polprevodnikov za različne aplikacije, vključno z obdelavo rezin in epitaksialno rastjo.
SiC prevlečene grafitne komponente
Izdelan iz grafita s prevleko iz silicijevega karbida (SiC), je prevleka nanesena z metodo CVD na posebne vrste grafita visoke gostote, tako da lahko deluje v visokotemperaturni peči z več kot 3000 °C v inertni atmosferi, 2200 °C v vakuumu .
Posebne lastnosti in majhna masa materiala omogočajo hitro segrevanje, enakomerno porazdelitev temperature in izjemno natančnost krmiljenja.
Podatki o materialu Semicorex SiC Coating
Tipične lastnosti |
Enote |
Vrednote |
Struktura |
|
FCC β faza |
Orientacija |
Delež (%) |
111 zaželeno |
Nasipna gostota |
g/cm³ |
3.21 |
Trdota |
Trdota po Vickersu |
2500 |
Toplotna zmogljivost |
J kg-1 K-1 |
640 |
Toplotna ekspanzija 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Youngov modul |
Gpa (upogib 4 točke, 1300 ℃) |
430 |
Velikost zrn |
μm |
2~10 |
Temperatura sublimacije |
℃ |
2700 |
Feleksuralna moč |
MPa (RT 4-točkovno) |
415 |
Toplotna prevodnost |
(W/mK) |
300 |
Zaključek CVD SiC prevlečen suceptor je kompozitni material, ki združuje lastnosti suceptorja in silicijevega karbida. Ta material ima edinstvene lastnosti, vključno z visoko temperaturno in kemično odpornostjo, odlično odpornostjo proti obrabi, visoko toplotno prevodnostjo ter visoko trdnostjo in togostjo. Zaradi teh lastnosti je privlačen material za različne visokotemperaturne aplikacije, vključno s predelavo polprevodnikov, kemično obdelavo, toplotno obdelavo, proizvodnjo sončnih celic in proizvodnjo LED.
Iščete zanesljiv nosilec rezin za postopke jedkanja? Ne iščite dlje kot Semicorexov nosilec za jedkanje iz silicijevega karbida ICP. Naš izdelek je zasnovan tako, da prenese visoke temperature in ostro kemično čiščenje, kar zagotavlja vzdržljivost in dolgo življenjsko dobo. S čisto in gladko površino je naš nosilec popoln za ravnanje z neokrnjenimi rezinami.
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorexova SiC plošča za postopek jedkanja ICP je popolna rešitev za visokotemperaturne in zahtevne zahteve kemične obdelave pri nanašanju tankega filma in ravnanju z rezinami. Naš izdelek se ponaša z vrhunsko toplotno odpornostjo in enakomerno toplotno enotnostjo, kar zagotavlja dosledno debelino in odpornost epi plasti. S čisto in gladko površino naša kristalna prevleka SiC visoke čistosti zagotavlja optimalno rokovanje z neokrnjenimi rezinami.
Preberi večPošlji povpraševanjeNosilec za jedkanje ICP s prevleko Semicorex SiC, zasnovan posebej za opremo za epitaksijo z visoko toplotno in korozijsko odpornostjo na Kitajskem. Naši izdelki imajo dobro cenovno ugodnost in pokrivajo številne evropske in ameriške trge. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorexov nosilec za jedkanje za jedkanje PSS je zasnovan za najzahtevnejše aplikacije opreme za epitaksijo. Naš izjemno čisti grafitni nosilec lahko prenese težka okolja, visoke temperature in ostro kemično čiščenje. Nosilec, prevlečen s SiC, ima odlične lastnosti porazdelitve toplote, visoko toplotno prevodnost in je stroškovno učinkovit. Naši izdelki se pogosto uporabljajo na številnih evropskih in ameriških trgih in veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorexov PSS Handling Carrier for Wafer Transfer je zasnovan za najzahtevnejše aplikacije opreme za epitaksijo. Naš izjemno čisti grafitni nosilec lahko prenese težka okolja, visoke temperature in ostro kemično čiščenje. Nosilec, prevlečen s SiC, ima odlične lastnosti porazdelitve toplote, visoko toplotno prevodnost in je stroškovno učinkovit. Naši izdelki se pogosto uporabljajo na številnih evropskih in ameriških trgih in veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorexova silikonska jedkalna plošča za aplikacije jedkanja PSS je visokokakovosten, ultra čist grafitni nosilec, ki je posebej zasnovan za epitaksialno rast in postopke ravnanja z rezinami. Naš nosilec lahko prenese težka okolja, visoke temperature in ostro kemično čiščenje. Silikonska plošča za jedkanje za aplikacije jedkanja PSS ima odlične lastnosti porazdelitve toplote, visoko toplotno prevodnost in je stroškovno učinkovita. Naši izdelki se pogosto uporabljajo na številnih evropskih in ameriških trgih in veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanje