Semicorex Silicon Carbide Graphite Substrate MOCVD Susceptor je najboljša izbira za proizvajalce polprevodnikov, ki iščejo visokokakovosten nosilec, ki lahko zagotovi vrhunsko zmogljivost in vzdržljivost. Njegov napredni material zagotavlja enakomeren toplotni profil in laminarni vzorec pretoka plina, kar zagotavlja visokokakovostne rezine.
Naš grafitni substrat MOCVD susceptor iz silicijevega karbida je zelo čist, narejen s CVD kemičnim naparjevanjem v pogojih visokotemperaturnega kloriranja, kar zagotavlja enotnost in konsistenco izdelka. Je tudi zelo odporen proti koroziji, z gosto površino in drobnimi delci, zaradi česar je odporen na kisline, alkalije, soli in organske reagente. Njegova visokotemperaturna odpornost proti oksidaciji zagotavlja stabilnost pri visokih temperaturah do 1600°C.
Pišite nam še danes, če želite izvedeti več o našem susceptorju MOCVD iz silicijevega karbida grafitnega substrata.
Parametri MOCVD susceptorja iz silicijevega karbida grafitnega substrata
Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC |
||
SiC-CVD lastnosti |
||
Kristalna struktura |
FCC β faza |
|
Gostota |
g/cm³ |
3.21 |
Trdota |
Trdota po Vickersu |
2500 |
Velikost zrn |
μm |
2~10 |
Kemijska čistost |
% |
99.99995 |
Toplotna zmogljivost |
J kg-1 K-1 |
640 |
Temperatura sublimacije |
℃ |
2700 |
Feleksuralna moč |
MPa (RT 4-točkovno) |
415 |
Youngov modul |
Gpa (upogib 4 točke, 1300 ℃) |
430 |
Toplotna ekspanzija (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Toplotna prevodnost |
(W/mK) |
300 |
Značilnosti grafitnega susceptorja s prevleko iz SiC za MOCVD
- Izogibajte se luščenju in zagotovite premaz na vsej površini
Odpornost proti oksidaciji pri visokih temperaturah: Stabilen pri visokih temperaturah do 1600°C
Visoka čistost: narejeno s CVD kemičnim nanašanjem iz pare v pogojih visokotemperaturnega kloriranja.
Odpornost proti koroziji: visoka trdota, gosta površina in drobni delci.
Odpornost proti koroziji: kisline, alkalije, sol in organski reagenti.
- Doseči najboljši vzorec laminarnega toka plina
- Zagotovljena enakomernost toplotnega profila
- Preprečite kakršno koli kontaminacijo ali difuzijo nečistoč