Nosilci rezin MOCVD za polprevodniško industrijo

Semicorex MOCVD Wafer Carriers for Semiconductor Industry je vrhunski nosilec, zasnovan za uporabo v industriji polprevodnikov. Njegov material visoke čistosti zagotavlja enakomeren toplotni profil in laminarni vzorec pretoka plina, kar zagotavlja visokokakovostne rezine.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Naši nosilci rezin MOCVD za polprevodniško industrijo so zelo čisti, narejeni s kemičnim naparjevanjem CVD v pogojih visokotemperaturnega kloriranja, kar zagotavlja enotnost in konsistenco izdelka. Je tudi zelo odporen proti koroziji, z gosto površino in drobnimi delci, zaradi česar je odporen na kisline, alkalije, sol in organske reagente. Njegova visokotemperaturna oksidacijska odpornost zagotavlja stabilnost pri visokih temperaturah do 1600°C.
Pišite nam še danes, če želite izvedeti več o naših nosilcih rezin MOCVD za polprevodniško industrijo.

Parametri nosilcev rezin MOCVD za polprevodniško industrijo

Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC
SiC-CVD lastnosti
Kristalna struktura	FCC Î² faza
Gostota	g/cm³	3.21
Trdota	Trdota po Vickersu	2500
Velikost zrn	Î¼m	2~10
Kemijska čistost	%	99.99995
Toplotna zmogljivost	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura sublimacije	℃	2700
Feleksuralna moč	MPa (RT 4-točkovno)	415
Youngov modul	Gpa (upogib 4 točke, 1300 °)	430
Toplotna ekspanzija (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Toplotna prevodnost	(W/mK)	300

Značilnosti grafitnega susceptorja s prevleko iz SiC za MOCVD

- Izogibajte se luščenju in zagotovite premaz na vsej površini
Odpornost proti oksidaciji pri visokih temperaturah: Stabilen pri visokih temperaturah do 1600°C
Visoka čistost: narejeno s CVD kemičnim nanašanjem iz pare v pogojih visokotemperaturnega kloriranja.
Odpornost proti koroziji: visoka trdota, gosta površina in drobni delci.
Odpornost proti koroziji: kisline, alkalije, sol in organski reagenti.
- Doseči najboljši vzorec laminarnega toka plina
- Zagotovljena enakomernost toplotnega profila
- Preprečite kakršno koli kontaminacijo ali difuzijo nečistoč

Hot Tags: Nosilci rezin MOCVD za polprevodniško industrijo, Kitajska, proizvajalci, dobavitelji, tovarna, po meri, v razsutem stanju, napredni, trpežni