Susceptor s prevleko iz silicijevega karbida SiC

Semicorex je vodilni neodvisni proizvajalec sodnega susceptorja s prevleko iz silicijevega karbida in SiC, natančno obdelanega grafita visoke čistosti, ki se osredotoča na področja proizvodnje polprevodnikov s prevleko iz silicijevega karbida, keramike iz silicijevega karbida in MOCVP. Naš sod za prevleko iz silicijevega karbida SiC ima dobro cenovno ugodnost in pokriva številne evropske in ameriške trge. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

SemicorexPrevleka cevi s silicijevim karbidom in SiCje grafitni izdelek, prevlečen z visoko prečiščenim SiC, ki ima visoko toplotno in korozijsko odpornost. Primeren je za LPE. TheSilicijev karbidSiC Coated Barrel Susceptor, ki se uporablja v procesih, ki tvorijo epiksialno plast na polprevodniških rezinah, ki ima visoko toplotno prevodnost in odlične lastnosti porazdelitve toplote.

Pišite nam še danes, če želite izvedeti več o našemSilicijev karbidSiC prevlečen cevni suceptor.

Parametri zaPrevlečen s silicijevim karbidom SiCBarrel Receiver

Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC
SiC-CVD lastnosti
Kristalna struktura	FCC β faza
Gostota	g/cm³	3.21
Trdota	Trdota po Vickersu	2500
Velikost zrn	μm	2~10
Kemijska čistost	%	99.99995
Toplotna zmogljivost	J kg-1 K-1	640
Temperatura sublimacije	℃	2700
Feleksuralna moč	MPa (RT 4-točkovno)	415
Youngov modul	Gpa (upogib 4 točke, 1300 ℃)	430
Toplotna ekspanzija (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Toplotna prevodnost	(W/mK)	300

ZnačilnostiPrevlečen s silicijevim karbidom SiCBarrel Receiver

- Tako grafitna podlaga kot plast silicijevega karbida imata dobro gostoto in lahko igrata dobro zaščitno vlogo pri visokih temperaturah in korozivnih delovnih okoljih.

- Suceptor, prevlečen s silicijevim karbidom, ki se uporablja za rast monokristalov, ima zelo visoko površinsko ravnost.

- Zmanjšajte razliko v koeficientu toplotnega raztezanja med grafitno podlago in plastjo silicijevega karbida, učinkovito izboljšajte trdnost lepljenja, da preprečite razpoke in razslojevanje.

- Tako grafitna podlaga kot plast silicijevega karbida imata visoko toplotno prevodnost in odlične lastnosti porazdelitve toplote.

- Visoko tališče, odpornost proti oksidaciji pri visokih temperaturah, odpornost proti koroziji.