Semicorex je obsežen proizvajalec in dobavitelj sodnega susceptorja s prevleko iz SiC na Kitajskem. Osredotočeni smo na industrijo polprevodnikov, kot so plasti silicijevega karbida in epitaksija polprevodnikov. Naši izdelki imajo dobro cenovno ugodnost in pokrivajo številne evropske in ameriške trge. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner.
SemicorexSiC prevlečen cevni suceptorje grafitni nosilec visoke čistosti, prevlečen s SiC, ki se v procesu uporablja za gojenje epitaksialne plasti na rezinskem čipu, ki je primeren za številne epitaksialne reaktorje. Ima visoko toplotno in korozijsko odpornost, kar ima veliko stabilnost v ekstremnih okoljih.
NašSiC prevlečenBarrel Susceptor je odporen tudi na visokotemperaturno oksidacijo in korozijo, zaradi česar je zanesljiv in vzdržljiv izdelek. Njegovo visoko tališče zagotavlja, da lahko prenese visokotemperaturno okolje, potrebno za učinkovito proizvodnjo polprevodnikov.
Pišite nam še danes, če želite izvedeti več o našemSiC prevlečenBarrel Receiver
Parametri zaSiC prevlečenBarrel Receiver
Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC |
||
SiC-CVD lastnosti |
||
Kristalna struktura |
FCC β faza |
|
Gostota |
g/cm³ |
3.21 |
Trdota |
Trdota po Vickersu |
2500 |
Velikost zrn |
μm |
2~10 |
Kemijska čistost |
% |
99.99995 |
Toplotna zmogljivost |
J kg-1 K-1 |
640 |
Temperatura sublimacije |
℃ |
2700 |
Feleksuralna moč |
MPa (RT 4-točkovno) |
415 |
Youngov modul |
Gpa (upogib 4 točke, 1300 ℃) |
430 |
Toplotna ekspanzija (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Toplotna prevodnost |
(W/mK) |
300 |
ZnačilnostiSiC prevlečenBarrel Receiver
- Izogibajte se luščenju in zagotovite premaz na vsej površini
Odpornost proti oksidaciji pri visokih temperaturah: Stabilen pri visokih temperaturah do 1600°C
Visoka čistost: narejeno s CVD kemičnim nanašanjem iz pare v pogojih visokotemperaturnega kloriranja.
Odpornost proti koroziji: visoka trdota, gosta površina in drobni delci.
Odpornost proti koroziji: kisline, alkalije, sol in organski reagenti.
- Doseči najboljši vzorec laminarnega toka plina
- Zagotovljena enakomernost toplotnega profila
- Preprečite kakršno koli kontaminacijo ali difuzijo nečistoč