Semicorexov sosceptor, prevlečen s SiC, za reaktorsko komoro LPE je zelo zanesljiva rešitev za postopke izdelave polprevodnikov, ki se ponaša z vrhunsko porazdelitvijo toplote in lastnostmi toplotne prevodnosti. Prav tako je zelo odporen proti koroziji, oksidaciji in visokim temperaturam.
Semicorexov sosceptor, prevlečen s SiC, za reaktorsko komoro LPE je izdelek vrhunske kakovosti, izdelan po najvišjih standardih natančnosti in vzdržljivosti. Ponuja odlično toplotno prevodnost, odpornost proti koroziji in je zelo primeren za aplikacije LPE v proizvodnji polprevodnikov.
Naš sosceptor, prevlečen s SiC, za reaktorsko komoro LPE je zasnovan za doseganje najboljšega laminarnega vzorca pretoka plina, kar zagotavlja enakomeren toplotni profil. To pomaga preprečiti kakršno koli kontaminacijo ali difuzijo nečistoč, kar zagotavlja visokokakovostno epitaksialno rast na čipu rezin.
Pišite nam še danes, če želite izvedeti več o našem sosceptorju, prevlečenem s SiC, za reaktorsko komoro LPE.
Parametri sosceptorja, prevlečenega s SiC, za reaktorsko komoro LPE
Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC |
||
SiC-CVD lastnosti |
||
Kristalna struktura |
FCC β faza |
|
Gostota |
g/cm³ |
3.21 |
Trdota |
Trdota po Vickersu |
2500 |
Velikost zrn |
μm |
2~10 |
Kemijska čistost |
% |
99.99995 |
Toplotna zmogljivost |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Temperatura sublimacije |
℃ |
2700 |
Feleksuralna moč |
MPa (RT 4-točkovno) |
415 |
Youngov modul |
Gpa (upogib 4 točke, 1300 °) |
430 |
Toplotna ekspanzija (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Toplotna prevodnost |
(W/mK) |
300 |
Lastnosti susceptorja, prevlečenega s SiC, za reaktorsko komoro LPE
- Tako grafitna podlaga kot plast silicijevega karbida imata dobro gostoto in lahko igrata dobro zaščitno vlogo pri visokih temperaturah in korozivnih delovnih okoljih.
- Suceptor, prevlečen s silicijevim karbidom, ki se uporablja za rast monokristalov, ima zelo visoko ravnost površine.
- Zmanjšajte razliko v koeficientu toplotnega raztezanja med grafitno podlago in plastjo silicijevega karbida, učinkovito izboljšajte trdnost lepljenja, da preprečite razpoke in razslojevanje.
- Tako grafitna podlaga kot plast silicijevega karbida imata visoko toplotno prevodnost in odlične lastnosti porazdelitve toplote.
- Visoko tališče, odpornost proti oksidaciji pri visokih temperaturah, odpornost proti koroziji.