Epitaksialni reaktorski sod s prevleko iz SiC

Semicorex SiC Coated Epitaxial Reactor Barrel je grafitni izdelek vrhunske kakovosti, prevlečen s SiC visoke čistosti. Zaradi odlične gostote in toplotne prevodnosti je idealna izbira za uporabo v procesih LPE, saj zagotavlja izjemno porazdelitev toplote in zaščito v jedkih in visokotemperaturnih okoljih.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Ko gre za proizvodnjo polprevodnikov, je Semicorex SiC Coated Epitaxial Reactor Barrel najboljša izbira za vrhunsko zmogljivost in izjemno porazdelitev toplote. Ta grafitni izdelek, prevlečen s SiC visoke čistosti, zagotavlja izjemno odpornost proti koroziji in toploti ter vsakič zagotavlja zanesljive in dosledne rezultate.

Pri Semicorexu se osredotočamo na zagotavljanje visokokakovostnih in stroškovno učinkovitih izdelkov našim strankam. Naš cev epitaksialnega reaktorja s prevleko iz SiC ima cenovno ugodnost in se izvaža na številne evropske in ameriške trge. Naš cilj je biti vaš dolgoročni partner, ki zagotavlja stalno kakovost izdelkov in izjemne storitve za stranke.

Parametri cevi epitaksialnega reaktorja, prevlečenega s SiC

Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC
SiC-CVD lastnosti
Kristalna struktura	FCC β faza
Gostota	g/cm³	3.21
Trdota	Trdota po Vickersu	2500
Velikost zrn	μm	2~10
Kemijska čistost	%	99.99995
Toplotna zmogljivost	J kg-1 K-1	640
Temperatura sublimacije	℃	2700
Feleksuralna moč	MPa (RT 4-točkovno)	415
Youngov modul	Gpa (upogib 4 točke, 1300 ℃)	430
Toplotna ekspanzija (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Toplotna prevodnost	(W/mK)	300

Značilnosti cevi epitaksialnega reaktorja, prevlečenega s SiC

- Tako grafitna podlaga kot plast silicijevega karbida imata dobro gostoto in lahko igrata dobro zaščitno vlogo pri visokih temperaturah in korozivnih delovnih okoljih.

- Suceptor, prevlečen s silicijevim karbidom, ki se uporablja za rast monokristalov, ima zelo visoko površinsko ravnost.

- Zmanjšajte razliko v koeficientu toplotnega raztezanja med grafitno podlago in plastjo silicijevega karbida, učinkovito izboljšajte trdnost lepljenja, da preprečite razpoke in razslojevanje.

- Tako grafitna podlaga kot plast silicijevega karbida imata visoko toplotno prevodnost in odlične lastnosti porazdelitve toplote.

- Visoko tališče, odpornost proti oksidaciji pri visokih temperaturah, odpornost proti koroziji.