S karbidom prevlečen sosceptor reaktorja

Semicorex Carbide-Coated Reactor Barrel Susceptor je grafitni izdelek vrhunske kakovosti, prevlečen s SiC visoke čistosti, zasnovan posebej za postopke LPE. Z odlično toplotno in korozijsko odpornostjo je ta izdelek popoln za uporabo v proizvodnji polprevodnikov.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Če iščete visoko zmogljiv grafitni sprejemnik za oblikovanje epitaksialne plasti na polprevodniških rezinah, je Semicorex Carbide Coated Reactor Barrel Susceptor odlična izbira. Njegova prevleka iz silicijevega karbida zagotavlja vrhunsko porazdelitev toplote in toplotno prevodnost, kar zagotavlja izjemno zmogljivost tudi v najzahtevnejših visokotemperaturnih okoljih.

Pri Semicorexu se osredotočamo na zagotavljanje visokokakovostnega in stroškovno učinkovitega prevleke reaktorskega soda, prevlečenega s karbidom, dajemo prednost zadovoljstvu strank in zagotavljamo stroškovno učinkovite rešitve. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner, ki bo zagotavljal visokokakovostne izdelke in izjemne storitve za stranke.

Parametri sosceptorja reaktorja, prevlečenega s karbidom

Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC
SiC-CVD lastnosti
Kristalna struktura	FCC Î² faza
Gostota	g/cm³	3.21
Trdota	Trdota po Vickersu	2500
Velikost zrn	Î¼m	2~10
Kemijska čistost	%	99.99995
Toplotna zmogljivost	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura sublimacije	℃	2700
Feleksuralna moč	MPa (RT 4-točkovno)	415
Youngov modul	Gpa (upogib 4 točke, 1300 °)	430
Toplotna ekspanzija (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Toplotna prevodnost	(W/mK)	300

Značilnosti sosceptorja reaktorskega soda s karbidno prevleko

- Tako grafitna podlaga kot plast silicijevega karbida imata dobro gostoto in lahko igrata dobro zaščitno vlogo pri visokih temperaturah in korozivnih delovnih okoljih.

- Suceptor, prevlečen s silicijevim karbidom, ki se uporablja za rast monokristalov, ima zelo visoko ravnost površine.

- Zmanjšajte razliko v koeficientu toplotnega raztezanja med grafitno podlago in plastjo silicijevega karbida, učinkovito izboljšajte trdnost lepljenja, da preprečite razpoke in razslojevanje.

- Tako grafitna podlaga kot plast silicijevega karbida imata visoko toplotno prevodnost in odlične lastnosti porazdelitve toplote.

- Visoko tališče, visoka temperaturna odpornost proti oksidaciji, odpornost proti koroziji.