Prevleka SiC je tanka plast na suceptorju s postopkom kemičnega naparjevanja (CVD). Material iz silicijevega karbida nudi številne prednosti pred silicijem, vključno z 10-kratno prebojno električno poljsko jakostjo, 3-kratno širino pasovne vrzeli, kar zagotavlja materialu visoko temperaturno in kemično odpornost, odlično odpornost proti obrabi in toplotno prevodnost.
Semicorex zagotavlja prilagojene storitve, vam pomaga pri inovacijah s komponentami, ki trajajo dlje, skrajšajo čase ciklov in izboljšajo donose.
Prevleka SiC ima več edinstvenih prednosti
Odpornost na visoke temperature: suceptor, prevlečen s CVD SiC, lahko prenese visoke temperature do 1600 °C, ne da bi bil podvržen občutni toplotni razgradnji.
Odpornost na kemikalije: Prevleka iz silicijevega karbida zagotavlja odlično odpornost na široko paleto kemikalij, vključno s kislinami, alkalijami in organskimi topili.
Odpornost proti obrabi: prevleka SiC zagotavlja materialu odlično odpornost proti obrabi, zaradi česar je primeren za aplikacije, ki vključujejo visoko obrabo.
Toplotna prevodnost: prevleka CVD SiC zagotavlja materialu visoko toplotno prevodnost, zaradi česar je primeren za uporabo pri visokotemperaturnih aplikacijah, ki zahtevajo učinkovit prenos toplote.
Visoka trdnost in togost: Suceptor, prevlečen s silicijevim karbidom, zagotavlja materialu visoko trdnost in togost, zaradi česar je primeren za aplikacije, ki zahtevajo visoko mehansko trdnost.
Prevleka SiC se uporablja v različnih aplikacijah
Izdelava LED: CVD SiC prevlečen suceptor se zaradi svoje visoke toplotne prevodnosti in kemične odpornosti uporablja pri izdelavi različnih vrst LED, vključno z modro in zeleno LED, UV LED in globoko UV LED.
Mobilna komunikacija: CVD SiC prevlečen suceptor je ključni del HEMT za dokončanje epitaksialnega postopka GaN-on-SiC.
Obdelava polprevodnikov: CVD SiC prevlečen suceptor se uporablja v industriji polprevodnikov za različne aplikacije, vključno z obdelavo rezin in epitaksialno rastjo.
SiC prevlečene grafitne komponente
Izdelan iz grafita s prevleko iz silicijevega karbida (SiC), je prevleka nanesena z metodo CVD na posebne vrste grafita visoke gostote, tako da lahko deluje v visokotemperaturni peči z več kot 3000 °C v inertni atmosferi, 2200 °C v vakuumu .
Posebne lastnosti in majhna masa materiala omogočajo hitro segrevanje, enakomerno porazdelitev temperature in izjemno natančnost krmiljenja.
Podatki o materialu Semicorex SiC Coating
Tipične lastnosti |
Enote |
Vrednote |
Struktura |
|
FCC β faza |
Orientacija |
Delež (%) |
111 zaželeno |
Nasipna gostota |
g/cm³ |
3.21 |
Trdota |
Trdota po Vickersu |
2500 |
Toplotna zmogljivost |
J kg-1 K-1 |
640 |
Toplotna ekspanzija 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Youngov modul |
Gpa (upogib 4 točke, 1300 ℃) |
430 |
Velikost zrn |
μm |
2~10 |
Temperatura sublimacije |
℃ |
2700 |
Feleksuralna moč |
MPa (RT 4-točkovno) |
415 |
Toplotna prevodnost |
(W/mK) |
300 |
Zaključek CVD SiC prevlečen suceptor je kompozitni material, ki združuje lastnosti suceptorja in silicijevega karbida. Ta material ima edinstvene lastnosti, vključno z visoko temperaturno in kemično odpornostjo, odlično odpornostjo proti obrabi, visoko toplotno prevodnostjo ter visoko trdnostjo in togostjo. Zaradi teh lastnosti je privlačen material za različne visokotemperaturne aplikacije, vključno s predelavo polprevodnikov, kemično obdelavo, toplotno obdelavo, proizvodnjo sončnih celic in proizvodnjo LED.
S svojim visokim tališčem, odpornostjo proti oksidaciji in odpornosti proti koroziji je Semicorex SiC-Coated Crystal Growth Susceptor idealna izbira za uporabo v aplikacijah za rast monokristalov. Njegova prevleka iz silicijevega karbida zagotavlja odlično ravnost in lastnosti porazdelitve toplote, zaradi česar je idealna izbira za okolja z visoko temperaturo.
Preberi večPošlji povpraševanjeČe potrebujete grafitni susceptor, ki lahko zanesljivo in dosledno deluje tudi v najzahtevnejših visokotemperaturnih in korozivnih okoljih, je Semicorex Barrel Susceptor za epitaksijo v tekoči fazi popolna izbira. Njegova prevleka iz silicijevega karbida zagotavlja odlično toplotno prevodnost in porazdelitev toplote, kar zagotavlja izjemno zmogljivost v aplikacijah za proizvodnjo polprevodnikov.
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex Graphite Barrel, prevlečen s silicijevim karbidom, je popolna izbira za aplikacije v proizvodnji polprevodnikov, ki zahtevajo visoko toplotno in korozijsko odpornost. Zaradi izjemne toplotne prevodnosti in lastnosti distribucije toplote je idealen za uporabo v procesih LPE in drugih visokotemperaturnih okoljih.
Preberi večPošlji povpraševanjeS svojo odlično gostoto in toplotno prevodnostjo je Semicorex Durable SiC-Coated Barrel Susceptor idealna izbira za uporabo v epitaksialnih procesih in drugih aplikacijah za proizvodnjo polprevodnikov. Njegova SiC prevleka visoke čistosti zagotavlja vrhunsko zaščito in lastnosti porazdelitve toplote, zaradi česar je najboljša izbira za zanesljive in dosledne rezultate.
Preberi večPošlji povpraševanjeKo gre za proizvodnjo polprevodnikov, je Semicorex visokotemperaturni SiC-Coated Barrel Susceptor najboljša izbira za vrhunsko zmogljivost in zanesljivost. Njegova visokokakovostna SiC prevleka in izjemna toplotna prevodnost sta idealna za uporabo tudi v najzahtevnejših visokotemperaturnih in korozivnih okoljih.
Preberi večPošlji povpraševanjeS svojim visokim tališčem, odpornostjo proti oksidaciji in odpornosti proti koroziji je Semicorex SiC-Coated Barrel Susceptor odlična izbira za uporabo v aplikacijah za rast monokristalov. Njegova prevleka iz silicijevega karbida zagotavlja izjemno ravnost in lastnosti porazdelitve toplote, kar zagotavlja zanesljivo in dosledno delovanje tudi v najzahtevnejših visokotemperaturnih okoljih.
Preberi večPošlji povpraševanje