Grafitni sod, prevlečen s silicijevim karbidom

Semicorex Graphite Barrel, prevlečen s silicijevim karbidom, je popolna izbira za aplikacije v proizvodnji polprevodnikov, ki zahtevajo visoko toplotno in korozijsko odpornost. Zaradi izjemne toplotne prevodnosti in lastnosti distribucije toplote je idealen za uporabo v procesih LPE in drugih visokotemperaturnih okoljih.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Ko gre za proizvodnjo polprevodnikov, je Graphite Barrel Semicorex, prevlečen s silicijevim karbidom, najboljša izbira za izjemno zmogljivost in zanesljivost. Njegova visokokakovostna SiC prevleka ter vrhunska gostota in toplotna prevodnost zagotavljajo vrhunsko porazdelitev toplote in zaščito tudi v najzahtevnejših visokotemperaturnih in korozivnih okoljih.

Naš grafitni sod, prevlečen s silicijevim karbidom, zagotavlja enakomeren toplotni profil, kar zagotavlja najboljši laminarni vzorec pretoka plina. Preprečuje, da bi kontaminacija ali nečistoče difuzirale v rezino, zaradi česar je idealna za uporabo v čistih prostorih. Semicorex je obsežen proizvajalec in dobavitelj grafitnega susceptorja s prevleko iz SiC na Kitajskem in naši izdelki imajo dobro cenovno ugodnost. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner v industriji polprevodnikov.

Parametri grafitnega soda, prevlečenega s silicijevim karbidom

Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC
SiC-CVD lastnosti
Kristalna struktura	FCC β faza
Gostota	g/cm³	3.21
Trdota	Trdota po Vickersu	2500
Velikost zrn	μm	2~10
Kemijska čistost	%	99.99995
Toplotna zmogljivost	J kg-1 K-1	640
Temperatura sublimacije	℃	2700
Feleksuralna moč	MPa (RT 4-točkovno)	415
Youngov modul	Gpa (upogib 4 točke, 1300 ℃)	430
Toplotna ekspanzija (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Toplotna prevodnost	(W/mK)	300

Značilnosti grafitnega soda, prevlečenega s silicijevim karbidom

- Tako grafitna podlaga kot plast silicijevega karbida imata dobro gostoto in lahko igrata dobro zaščitno vlogo pri visokih temperaturah in korozivnih delovnih okoljih.

- Suceptor, prevlečen s silicijevim karbidom, ki se uporablja za rast monokristalov, ima zelo visoko površinsko ravnost.

- Zmanjšajte razliko v koeficientu toplotnega raztezanja med grafitno podlago in plastjo silicijevega karbida, učinkovito izboljšajte trdnost lepljenja, da preprečite razpoke in razslojevanje.

- Tako grafitna podlaga kot plast silicijevega karbida imata visoko toplotno prevodnost in odlične lastnosti porazdelitve toplote.

- Visoko tališče, odpornost proti oksidaciji pri visokih temperaturah, odpornost proti koroziji.