Susceptor iz grafitnega soda s prevleko iz SiC

Če iščete visoko zmogljiv grafitni sprejemnik za uporabo v aplikacijah za proizvodnjo polprevodnikov, je Semicorex SiC Coated Graphite Barrel Susceptor idealna izbira. Zaradi izjemne toplotne prevodnosti in porazdelitve toplote je najboljša izbira za zanesljivo in dosledno delovanje v visokotemperaturnih in korozivnih okoljih.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Semicorex SiC Coated Graphite Barrel Susceptor je popolna izbira za aplikacije v proizvodnji polprevodnikov, ki zahtevajo izjemno porazdelitev toplote in toplotno prevodnost. Njegova SiC prevleka visoke čistosti in vrhunska gostota zagotavljata vrhunsko zaščito in lastnosti porazdelitve toplote, kar zagotavlja zanesljivo in dosledno delovanje tudi v najzahtevnejših okoljih.

Naš Graphite Barrel susceptor s prevleko iz SiC je zasnovan za doseganje najboljšega laminarnega vzorca pretoka plina, kar zagotavlja enakomernost toplotnega profila. To pomaga preprečiti kakršno koli kontaminacijo ali difuzijo nečistoč, kar zagotavlja visokokakovostno epitaksialno rast na čipu rezin.

Pišite nam še danes, če želite izvedeti več o našem susceptorju iz grafitnega soda, prevlečenega s SiC.

Parametri sosceptorja iz grafitnega soda, prevlečenega s SiC

Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC
SiC-CVD lastnosti
Kristalna struktura	FCC Î² faza
Gostota	g/cm³	3.21
Trdota	Trdota po Vickersu	2500
Velikost zrn	Î¼m	2~10
Kemijska čistost	%	99.99995
Toplotna zmogljivost	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura sublimacije	℃	2700
Feleksuralna moč	MPa (RT 4-točkovno)	415
Youngov modul	Gpa (upogib 4 točke, 1300 °)	430
Toplotna ekspanzija (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Toplotna prevodnost	(W/mK)	300

Značilnosti susceptorja grafitnega soda s prevleko iz SiC

- Tako grafitna podlaga kot plast silicijevega karbida imata dobro gostoto in lahko igrata dobro zaščitno vlogo pri visokih temperaturah in korozivnih delovnih okoljih.

- Suceptor, prevlečen s silicijevim karbidom, ki se uporablja za rast monokristalov, ima zelo visoko ravnost površine.

- Zmanjšajte razliko v koeficientu toplotnega raztezanja med grafitno podlago in plastjo silicijevega karbida, učinkovito izboljšajte trdnost lepljenja, da preprečite razpoke in razslojevanje.

- Tako grafitna podlaga kot plast silicijevega karbida imata visoko toplotno prevodnost in odlične lastnosti porazdelitve toplote.

- Visoko tališče, visoka temperaturna odpornost proti oksidaciji, odpornost proti koroziji.