SiC prevlečen sod za LPE

Semicorex SiC Coated Barrel Susceptor za LPE je popolna izbira za aplikacije za rast monokristalov, zahvaljujoč svoji izjemno ravni površini in visokokakovostnemu SiC premazu. Zaradi visokega tališča, odpornosti proti oksidaciji in odpornosti proti koroziji je idealna izbira za uporabo v visokotemperaturnih in korozivnih okoljih.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Iščete grafitni suceptor z izjemno porazdelitvijo toplote in toplotno prevodnostjo? Ne iščite dlje kot Semicorex SiC Coated Barrel Susceptor za LPE, prevlečen s SiC visoke čistosti za vrhunsko delovanje v procesih LPE in drugih aplikacijah za proizvodnjo polprevodnikov.

Pri Semicorexu se osredotočamo na zagotavljanje visokokakovostnih in stroškovno učinkovitih izdelkov našim strankam. Naš sod za LPE s prevleko iz SiC ima ugodno ceno in se izvaža na številne evropske in ameriške trge. Naš cilj je biti vaš dolgoročni partner, ki zagotavlja stalno kakovost izdelkov in izjemne storitve za stranke.

Parametri sodnega susceptorja, prevlečenega s SiC, za LPE

Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC
SiC-CVD lastnosti
Kristalna struktura	FCC Î² faza
Gostota	g/cm³	3.21
Trdota	Trdota po Vickersu	2500
Velikost zrn	Î¼m	2~10
Kemijska čistost	%	99.99995
Toplotna zmogljivost	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura sublimacije	℃	2700
Feleksuralna moč	MPa (RT 4-točkovno)	415
Youngov modul	Gpa (upogib 4 točke, 1300 °)	430
Toplotna ekspanzija (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Toplotna prevodnost	(W/mK)	300

Lastnosti sodnega susceptorja s prevleko iz SiC za LPE

- Tako grafitna podlaga kot plast silicijevega karbida imata dobro gostoto in lahko igrata dobro zaščitno vlogo pri visokih temperaturah in korozivnih delovnih okoljih.

- Suceptor, prevlečen s silicijevim karbidom, ki se uporablja za rast monokristalov, ima zelo visoko ravnost površine.

- Zmanjšajte razliko v koeficientu toplotnega raztezanja med grafitno podlago in plastjo silicijevega karbida, učinkovito izboljšajte trdnost lepljenja, da preprečite razpoke in razslojevanje.

- Tako grafitna podlaga kot plast silicijevega karbida imata visoko toplotno prevodnost in odlične lastnosti porazdelitve toplote.

- Visoko tališče, visoka temperaturna odpornost proti oksidaciji, odpornost proti koroziji.