SiC prevlečen valjčni susceptor za epitaksialno rezino

Semicorex SiC Coated Barrel Susceptor for Wafer Epitaxial je odlična izbira za aplikacije rasti monokristalov, zahvaljujoč svoji izjemno ravni površini in visokokakovostnemu SiC premazu. Zaradi visokega tališča, odpornosti proti oksidaciji in odpornosti proti koroziji je idealna izbira za uporabo v visokotemperaturnih in korozivnih okoljih.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Iščete grafitni suceptor z izjemno porazdelitvijo toplote in toplotno prevodnostjo? Ne iščite dlje kot Semicorex SiC Coated Barrel Susceptor for Wafer Epitaxial, prevlečen s SiC visoke čistosti za vrhunsko delovanje v epitaksialnih postopkih in drugih aplikacijah za proizvodnjo polprevodnikov.
Pri Semicorexu se osredotočamo na zagotavljanje visokokakovostnih in stroškovno učinkovitih izdelkov našim strankam. Naš sodčasti susceptor s prevleko iz SiC za epitaksialne rezine ima cenovno ugodnost in se izvaža na številne evropske in ameriške trge. Naš cilj je biti vaš dolgoročni partner, ki zagotavlja stalno kakovost izdelkov in izjemne storitve za stranke.

Parametri sodnega susceptorja, prevlečenega s SiC, za epitaksialno rezino

Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC
SiC-CVD lastnosti
Kristalna struktura	FCC β faza
Gostota	g/cm³	3.21
Trdota	Trdota po Vickersu	2500
Velikost zrn	μm	2~10
Kemijska čistost	%	99.99995
Toplotna zmogljivost	J kg-1 K-1	640
Temperatura sublimacije	℃	2700
Feleksuralna moč	MPa (RT 4-točkovno)	415
Youngov modul	Gpa (upogib 4 točke, 1300 ℃)	430
Toplotna ekspanzija (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Toplotna prevodnost	(W/mK)	300

Lastnosti sodnega susceptorja, prevlečenega s SiC, za epitaksialno rezino

- Tako grafitna podlaga kot plast silicijevega karbida imata dobro gostoto in lahko igrata dobro zaščitno vlogo pri visokih temperaturah in korozivnih delovnih okoljih.

- Suceptor, prevlečen s silicijevim karbidom, ki se uporablja za rast monokristalov, ima zelo visoko površinsko ravnost.

- Zmanjšajte razliko v koeficientu toplotnega raztezanja med grafitno podlago in plastjo silicijevega karbida, učinkovito izboljšajte trdnost lepljenja, da preprečite razpoke in razslojevanje.

- Tako grafitna podlaga kot plast silicijevega karbida imata visoko toplotno prevodnost in odlične lastnosti porazdelitve toplote.

- Visoko tališče, odpornost proti oksidaciji pri visokih temperaturah, odpornost proti koroziji.

Hot Tags: SiC prevlečen sod susceptor za epitaksialne rezine, Kitajska, proizvajalci, dobavitelji, tovarna, prilagojeno, razsuto, napredno, vzdržljivo

Oznaka izdelka

Povezana kategorija